Si+SiO2+Ti+Pt 111 (進(jìn)口薄膜）
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| 技術(shù)參數(shù) | |
|---|---|
| 薄膜 | SiO2+Ti+Pt(111) thin film on Si (P-type) |
| 膜層厚度 | SiO2=300nmTi=10nm Pt=150nm |
| 尺寸 | dia4"x0.5mm |
| 工作溫度 |
連續(xù)工作溫度 1000℃ 最高工作溫度 1200℃ <1 hour |
| 拋光 | 單拋 |
| 表面粗糙度 | <5A |
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