應用范圍:OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器最高溫度可以達到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動,實現(xiàn)對原材料的蒸發(fā)/升華,及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現(xiàn)對樣品快速加熱,最大升溫速率為100℃/min.同時可選擇電動滑軌、質(zhì)量流量計(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。
產(chǎn)品型號 :OTF-1200X-S2-50SL
上架時間 :2019-07-22
安裝尺寸:爐體:340mm L x 330mm W x 400mm H
整體:1600mm L x 430mm W x 500mm H
重量:80Kg
OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器最高溫度可以達到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動,實現(xiàn)對原材料的蒸發(fā)/升華,及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現(xiàn)對樣品快速加熱,最大升溫速率為100℃/min.同時可選擇電動滑軌、質(zhì)量流量計(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。
性能指標和基本配置 | ||
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爐體結(jié)構(gòu) |
● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風冷系統(tǒng),使表面溫度低于70℃(參考值,詳情請點擊)
圖1 圖2 圖3 圖4 圖5 圖6 |
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基本參數(shù) |
● 熱偶:K型熱偶 |
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高純石英管尺寸 |
尺寸:50 O.D x 44 I.D x 1500 L (mm) |
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加熱元件 |
摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層,可以極大程度延長使用壽命) |
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加熱區(qū) |
每個加熱爐加熱區(qū)長度:200mm |
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密封法蘭 |
● 一對SS 304真空法蘭與雙高溫硅O形環(huán)包括在內(nèi) 圖1 圖2 圖3
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溫控系統(tǒng) |
● 包含一款808P型溫度控制器 |
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可選 |
● 可選購電動滑軌(圖一) 圖1 圖2 圖3 圖4
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溫度校準(可選) |
● 定期對管式爐進行溫度校準,可保持溫度的準確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準工具包,輔助您完成這項工作,完整的校準套件包括: |
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滑軌 |
● 鍍鉻鋼制成的雙滑軌 |
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真空系統(tǒng)(可選) | ||
尺寸 |
● 爐體:340mm L x 330mm W x 400mm H |
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凈重 |
80Kg |
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使用注意事項 |
● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa |
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應用提示 |
·如何在MTI管爐上放置管堵和真空法蘭。 |
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認證 |
所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。 |
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保修期 |
一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點擊查看售后服務承諾書。 |
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免責聲明 |
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