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小巨人
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OTF-1200X-50-DSL 定向CVD生長(zhǎng)爐

應(yīng)用范圍:OTF-1200X-50-DSL是一款水平滑軌爐,其爐管直徑為Φ50mm,爐體滑動(dòng)速度可以根據(jù)實(shí)驗(yàn)需要而設(shè)置(1mm/sec-100mm/s),并可以設(shè)置左右反復(fù)滑動(dòng),同時(shí)還可以設(shè)置爐體的滑動(dòng)距離。此款管式爐專門(mén)設(shè)計(jì)用CVD方法定向生長(zhǎng)單壁碳納米管(SWCNTs)。通時(shí)此款滑軌爐也可用來(lái)在硅片上生長(zhǎng)熔點(diǎn)較低的金屬單晶。此系統(tǒng)包含了可設(shè)30段程序的高溫爐、一根Φ50*1000mm的石英管和一套不銹鋼真空法蘭。 

產(chǎn)品型號(hào) :OTF-1200X-50-DSL 

上架時(shí)間 :2019-07-23 

安裝尺寸:315 x 300 x 380 mm (爐體) 

                 1200 x 400 x 530 mm ( 整個(gè)外形) 

                 360 x 180 x 300 mm(電器控制柜)

重量:100Kg

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       OTF-1200X-50-DSL是一款水平滑軌爐,其爐管直徑為Φ50mm,爐體滑動(dòng)速度可以根據(jù)實(shí)驗(yàn)需要而設(shè)置(1mm/sec-100mm/s),并可以設(shè)置左右反復(fù)滑動(dòng),同時(shí)還可以設(shè)置爐體的滑動(dòng)距離。此款管式爐專門(mén)設(shè)計(jì)用CVD方法定向生長(zhǎng)單壁碳納米管(SWCNTs)。通時(shí)此款滑軌爐也可用來(lái)在硅片上生長(zhǎng)熔點(diǎn)較低的金屬單晶。此系統(tǒng)包含了可設(shè)30段程序的高溫爐、一根Φ50*1000mm的石英管和一套不銹鋼真空法蘭。

 性能指標(biāo)和基本配置
爐體結(jié)構(gòu)

● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)
● 一個(gè)滑軌安裝在爐體下端,可通過(guò)一6“的觸摸屏來(lái)控制爐體移動(dòng)方向、滑動(dòng)速度和往返次數(shù)
● 采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,并且表面涂有美國(guó)進(jìn)口高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率和延長(zhǎng)使用壽命。

功率

1.5KW

電壓

AC220V,單相

最高共工作溫度

1200℃(≤1小時(shí))

連續(xù)工作溫度

1100℃

加熱區(qū)域

● 加熱區(qū):200mm(單溫區(qū))
● 通過(guò)管堵位置和爐體移動(dòng)可形成想得到的溫度梯度
1 1

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有高溫氧化鋯涂層,可延長(zhǎng)其使用壽命)

爐管

● 高純石英管
● 尺寸:50 mm OD x 46mm ID x 1000 mm L
● 儀器加熱前,必須放入管堵,以防止熱量輻射影響法蘭的密封性

溫控系統(tǒng)

● 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升溫、降溫和保溫程序
● 設(shè)置有溫度過(guò)高和斷偶保護(hù)系統(tǒng)
● 控溫精度:±1℃
● 可選測(cè)PC控制軟件,將升溫程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中
1 1

爐體滑動(dòng)控制系統(tǒng)

● 觸摸屏控制
● 爐體移動(dòng)有手動(dòng)和自動(dòng)控制兩種控制狀態(tài),在手動(dòng)狀態(tài)和自動(dòng)狀態(tài)下均可設(shè)定左右移動(dòng)的速度,但只有在自動(dòng)狀態(tài)下才能設(shè)定左右移動(dòng)的次數(shù)。
● 含蜂鳴報(bào)警器,當(dāng)爐體觸碰到限位開(kāi)關(guān)就會(huì)產(chǎn)生報(bào)警,并切斷控制電路,使?fàn)t體停止移動(dòng)。
● 可顯示高溫爐內(nèi)的爐溫,與之通訊

密封法蘭

● 儀器中配有一套不銹鋼密封法蘭(上面已安裝不銹鋼針閥和機(jī)械壓力表)
● 法蘭上有一Φ6.35的鎧裝孔,可將熱電偶插入到爐管中,更準(zhǔn)確地測(cè)量樣品的實(shí)際溫度
1

石英氣體噴嘴

可選配石英氣體噴嘴,將反應(yīng)氣體與緩沖清洗氣體分開(kāi)通入,可有效減少副反應(yīng)發(fā)生,實(shí)現(xiàn)高端CVD工藝,如局部控制前體濃度化學(xué)氣相沉積工藝(ALC CVD)或單晶二維材料薄膜的生長(zhǎng)工藝等。
1

真空度

● 10E-5 torr (用分子泵)
● 10E-2?torr?(用直聯(lián)式機(jī)械泵)
1 1

滑軌長(zhǎng)度

1200mm

產(chǎn)品尺寸

● 315 x 300 x 380  mm (爐體)
● 1200 x 400 x 530 mm ( 整個(gè)外形)
● 360 x 180 x 300 mm(電器控制柜)

重量

100Kg

質(zhì)量認(rèn)證

CE certified
1

保修期 一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。
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