應(yīng)用范圍:GSL-1700X-II是一款CE認(rèn)證的雙溫區(qū)高溫管式爐,每個(gè)加熱區(qū)長(zhǎng)度12’’,由30段智能溫度調(diào)節(jié)儀進(jìn)行控溫,溫度達(dá)到1700度時(shí)加熱元件采用硅鉬棒,溫度在1400度時(shí)加熱元件采用硅碳棒,可通過(guò)調(diào)節(jié)兩個(gè)溫區(qū)的控溫程序使?fàn)t管內(nèi)溫場(chǎng)形成一溫度梯度,此系列管式爐可以用CVD或PVD方法來(lái)生長(zhǎng)納米材料和制作各種薄膜.
產(chǎn)品型號(hào):GSL-1700X-II
上架時(shí)間 :2019-07-26
安裝尺寸:1350 L x 470 W x 750 H mm
重量:約150Kg
GSL-1700X-II是一款CE認(rèn)證的雙溫區(qū)高溫管式爐,每個(gè)加熱區(qū)長(zhǎng)度12’’,由30段智能溫度調(diào)節(jié)儀進(jìn)行控溫,溫度達(dá)到1700度時(shí)加熱元件采用硅鉬棒,溫度在1400度時(shí)加熱元件采用硅碳棒,可通過(guò)調(diào)節(jié)兩個(gè)溫區(qū)的控溫程序使?fàn)t管內(nèi)溫場(chǎng)形成一溫度梯度,此系列管式爐可以用CVD或PVD方法來(lái)生長(zhǎng)納米材料和制作各種薄膜.
性能指標(biāo)和基本配置 | |
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名稱 |
1700℃雙溫區(qū)開(kāi)啟式管式爐GSL-1700X-II |
爐體結(jié)構(gòu) |
● 雙層殼體結(jié)構(gòu),可使表面溫度低于70℃ ● 采用高純氧化鋁纖維做為爐膛材料,并且表面涂有氧化鋁涂層(可提高加熱效率和延長(zhǎng)使用壽命) |
基本參數(shù) |
● 熱偶:S型熱偶 ● 建議升溫速率:1400℃以下≤10℃/min ;1400℃以上≤5℃/min ● 電源:AC380,50Hz ● 最大功率:10KW ● 加熱區(qū)長(zhǎng)度:580mm ● 雙溫區(qū):290mm+290mm ● 溫度:溫區(qū)一:長(zhǎng)期800℃-1300℃ (1400℃<1h) 溫區(qū)二:長(zhǎng)期800℃-1600℃ (1700℃<1h) |
爐管尺寸 |
● 材料:高純剛玉管 ● 直徑φ60 ● 可選購(gòu)法蘭支架 |
加熱元件 |
● 溫區(qū)一:U型1500級(jí)SiC棒 ● 溫區(qū)二:U型1800級(jí)MoSi棒 |
可選 |
1.法蘭上標(biāo)配安裝的是Φ8的寶塔嘴接頭 2.為了獲得較好的抽氣速率可以配用KF25的轉(zhuǎn)接頭 3.為了較好地向爐管中通入氣體可以配用1/4"的不銹鋼卡套接頭 ● 可選:您可以選購(gòu)kf25真空口法蘭(圖二) ● 可選:您可以訂購(gòu)法蘭支架(圖三) |
溫控系統(tǒng) |
● 包含一款YD518P型溫度控制器 ● PID自動(dòng)控溫系統(tǒng) ● 智能化30段可編程控制 ● 控溫精度:±1℃ ● 兩個(gè)溫區(qū)分別有兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制 ● 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口 ● 通過(guò)MET認(rèn)證 ● 可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù) |
外形尺寸 |
1350 L x 470 W x 750 H mm |
凈重 |
約150Kg |
質(zhì)保期 |
● 一年保修,終身技術(shù)支持。 ● 特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。 |
真空系統(tǒng) |
● 通過(guò)機(jī)械泵可達(dá)到50mTorr ● 通過(guò)分子泵泵可達(dá)到10E-5 Torr ● 可選購(gòu)一個(gè)冷真空阱,以避免真空泵造成污染 |
質(zhì)量認(rèn)證 |
● 所有電器元件(>24V)都通過(guò)UL/MET/CSA/CE認(rèn)證,若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。 |
使用注意事項(xiàng) |
● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ● 不要在氧化鋁管中使用石墨坩堝 ● 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 ● 當(dāng)爐體溫度高于1500℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài) ● 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱剛玉管的沖擊剛玉管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1750℃ ● 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) |
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