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EQ-TM106 膜厚監(jiān)測儀

應用范圍：EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理，結合先進的頻率測量技術，進行膜厚的在線監(jiān)測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設備的薄膜制備過程中，對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監(jiān)測。根據(jù)實時速率可以輸出PWM模擬量，作為膜厚傳感器使用，與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。

產(chǎn)品型號：EQ-TM106

上架時間：2019-09-02

A^-A⁺

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EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理，結合先進的頻率測量技術，進行膜厚的在線監(jiān)測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設備的薄膜制備過程中，對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監(jiān)測。根據(jù)實時速率可以輸出PWM模擬量，作為膜厚傳感器使用，與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。

性能指標和基本配置
主要特點	● 本機可與計算機連接。 ● 顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點，可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM ● 控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。 ● 通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進行設置，并可將所測相關數(shù)據(jù)寫入Excel文件。 ● 具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優(yōu)點。
EQ-TM106-1監(jiān)測組件	● 電源：DC 5V（±10%），最大電流400mA ● 頻率分辨率：±0.03Hz ● 膜厚分辨率：0.0136?（鋁） ● 膜厚準確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置，材料應力，溫度和密度 ● 測量速度：100ms-1s/次，可設置 ● 測量范圍：500000?（鋁） ● 標準傳感器晶體：6MHz ● 計算機接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置，數(shù)據(jù)位：8，停止位：1，校驗：無） ● 模擬輸出：8比特分辨率，PWM脈寬調(diào)制輸出（集電極開路或內(nèi)部5V輸出） ● 工作環(huán)境：溫度0-50℃，濕度5%-85%RH，不得有冷凝水珠 ● 外形尺寸：90mm×50mm×18mm
EQ-TM106-2顯示儀	● 輸入電源：AC 220V±10% ● 輸出電源：DC 5V 3A ● 顯示器：12×2數(shù)碼管與LED ● 通訊端口：RS-485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置，數(shù)據(jù)位：8位，停止位：1位，奇偶校驗：無） ● 外形尺寸：182mm×65mm×160mm
EQ-TM106-3探頭	● 適用晶片頻率：6MHz ● 適用晶片尺寸：Φ14mm ● 安裝法蘭：CF35 ● 冷卻水管：Φ3mm，長度300mm、500mm、1000mm ● 冷卻水壓：<0.3MPa ● 氣動擋板路管：Φ3mm ● 壓縮空氣壓力： ● 烘烤溫度：通水狀態(tài)<200℃，不通水狀態(tài)法蘭<100℃ ● 電氣接口：BCN插座
標準配件	1EQ-TM106-1監(jiān)測組件1個2EQ-TM106-2顯示儀1臺3EQ-TM106-3探頭1個
保修期	一年保修，終身技術支持。點擊查看售后服務承諾書。

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