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HVMSS-SPC-2 2英寸高真空磁控濺射頭

應(yīng)用范圍：HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭，可適用的靶材種類(lèi)較廣，如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環(huán)形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。

產(chǎn)品型號(hào) ：HVMSS-SPC-2

上架時(shí)間：2019-09-02

A^-A⁺

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HVMSS-SPC-2是一款可安裝直徑為2英寸靶材的磁控濺射頭，可適用的靶材種類(lèi)較廣，如金屬/絕緣靶材或磁性/非磁性靶材。環(huán)形NdFeB永磁體安裝在濺射頭上，以保證濺射鍍膜的效率和均勻性。此款濺射頭可與DC或RF電源配合使用。。

性能指標(biāo)和基本配置
特征	● 采用高質(zhì)量的不銹鋼和陶瓷材料制作 ● 采用電磁場(chǎng)的有元計(jì)算法來(lái)設(shè)計(jì)永磁體，以得到較高的磁場(chǎng)強(qiáng)度和均強(qiáng)場(chǎng)分布 ● 磁體表面涂有一層保護(hù)層，以防止冷卻水的腐蝕，延長(zhǎng)其使用壽命 ● 標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配 ● 安裝是采用標(biāo)準(zhǔn)真空接頭，便于操作 ● 更換靶材較為簡(jiǎn)單，無(wú)需調(diào)整濺射頭的高度
所需功率	● DC（最大）1000W ● RF（最大）500W
最大濺射電流	3A
濺射電壓	100-1000V
濺射時(shí)腔體真空度	5-100 mTorr
濺射均勻性曲線圖
尺寸	● 陽(yáng)極護(hù)套直徑：3.5英寸 ● 總長(zhǎng)度：14英寸
靶材	● 直徑: 2.0英寸(50.8mm) ● 厚度: 對(duì)于非磁性靶材，最大厚度為1/8英寸 ● 對(duì)于磁性靶材，最大厚度為1/16英寸 ● 靶材利用率：30% ● 磁鐵:NdFeB 稀土磁鐵
需要冷卻水	● 流速:0.8 GPM ● 進(jìn)水溫度:<20 ℃ ● 水管:0.25" OD.
可選配件	● 當(dāng)同時(shí)購(gòu)買(mǎi)300W射頻發(fā)射器和2英寸磁控濺射頭時(shí)，本公司會(huì)贈(zèng)送一高真空快速接頭 ● 此快速接頭的內(nèi)徑為0.75英寸，可將濺射頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1英寸，真空腔體的壁厚不得大于1英寸 ● 循環(huán)水冷機(jī)，流量為16L / min ，水箱容積為6L
外形尺寸
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。

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