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PCE-22 加熱型紫外臭氧清洗機

應(yīng)用范圍：PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機，其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片，為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠，改善表面潤濕性，清洗SEM &TEM，紫外對聚合物改性等。
紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段，特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光：185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?span lang="EN-US">254nm可以破壞化合物中的鍵（特別是碳碳鍵）。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物。

產(chǎn)品型號：PCE-22

上架時間：2019-09-04

安裝尺寸：510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

重量：28kg

A^-A⁺

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PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機，其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片，為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠，改善表面潤濕性，清洗SEM &TEM，紫外對聚合物改性等。紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段，特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光：185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵（特別是碳碳鍵）。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物。

性能指標(biāo)和基本配置
主要參數(shù)	● 功率：最大350W ● AC 208~240V，單相 50/60Hz
應(yīng)用	● 去除分子級別的污染物 ● 紫外光固化粘合劑 ● 紫外光催化 ● 氧化PDMS ● 表面消毒 ● 刻蝕 ● 清洗MEMS 器件 ● 清洗各種基片，如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片
紫外燈	● 可發(fā)出雙波長的水銀燈 ● 功率：55W ● 發(fā)出光的波長：254 nm 和 185 nm ● 使用壽命：2500 小時（可更換） ● 照射區(qū)域：200 x 200 mm
腔體&樣品臺	● 不銹鋼殼體 ● 抽屜式樣品臺，以便放樣取樣 ● 樣品臺面積310 mm x 320 mm ● 臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上 ● 樣品臺與紫外燈的距離：20mm -40mm（可調(diào)） ● 樣品臺可以加熱，最高溫度可達(dá)150℃ ● 可設(shè)置20段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃ ● 設(shè)備運行時間：0.01 秒- 99.9小時
排氣口	● 直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端 ● 請將橡膠管與排氣口連接，將臭氧排出到實驗室外 ● 儀器中不包含橡膠管
環(huán)境要求	● 僅室內(nèi)使用; 海拔高度5500英尺以內(nèi); ● 溫度范圍：41-104華氏度; ● 最大相對濕度80％，最高87華氏度，104華氏度線性降至50％相對濕度; ● 主電源波動不超過額定電壓的10％; ● 污染等級2; 臭氧水平（環(huán)境）測量<45 ppb。
外形尺寸	510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
凈重	28kg
認(rèn)證	所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點擊查看售后服務(wù)承諾書。

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