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OTF-1200X-III-HVC 1200°C三溫區(qū)二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：OTF-1200X-III-HVC是由OTF-1200X-III三溫區(qū)管式爐，二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成。其最高工作溫度可達(dá)1200℃，極限真空度可達(dá) 10-5 torr?；鞖庀到y(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

產(chǎn)品型號(hào) ：OTF-1200X-III-HVC

上架時(shí)間：2019-07-03

安裝尺寸：1100(L) x 450(W) x 670(H), mm

A^-A⁺

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OTF-1200X-III-HVC是由OTF-1200X-III三溫區(qū)管式爐，二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成。其最高工作溫度可達(dá)1200℃，極限真空度可達(dá) 10-5 torr?；鞖庀到y(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

性能指標(biāo)和基本配置
OTF-1200X-III管式爐	殼體結(jié)構(gòu)	● 雙層殼體結(jié)構(gòu)，便帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于55度 ● 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命
	爐管	● 材質(zhì): 高純石英管 ● 石英管包含在內(nèi). 可以選擇其他管徑
	管堵放置位置
	功率	7KW
	額定電壓	AC 208-240V 單相50/60Hz
	加熱元件	Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo（電阻絲表面涂有氧化鋯涂層，最大程度的延長加熱元件的使用壽命）
	工作溫度	● 最高工作溫度：1200℃ ● 連續(xù)工作溫度：1100℃
	升溫速率	升溫速率： 1~20℃/min 可編程
	加熱區(qū)長度	總加熱區(qū)：900mm (300mm + 300mm + 300mm)
	控溫系統(tǒng)	● 三個(gè)精密溫度控制器分別控制三個(gè)溫區(qū) ● PID自動(dòng)控制方式，可設(shè)置30段升降溫程序 ● 控溫精度: ±1°C ● 熱電偶：采用K型熱電偶進(jìn)行測溫
	真空密封	● 一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭，已經(jīng)安裝 ● 法蘭上已經(jīng)安裝機(jī)械壓力表 ● 一對(duì)精密針閥 ● KF-40 的抽氣接口
	尺寸	1100(L) x 450(W) x 670(H), mm
高真空機(jī)組	結(jié)構(gòu)	● 殼體尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm ● 最大承重: 600 Lbs ● 分子泵顯示屏： LCD 數(shù)字顯示 ● 殼體內(nèi)安裝有有一臺(tái)德國制造分子泵
	抽氣速率	● N2 33 L/s ● He 39 L/s (2340L/minute) ● H2 32 L/s
	工作范圍	From 1000 mbar to<1E-7 mbar
	極限	<1E-8 mbar (無泄漏)
	電壓&功率	110VAC~ 220VAC, 110W
質(zhì)量流量控制器	殼體結(jié)構(gòu)	● 2~9通道氣體采用PLC觸摸屏控制和PC操作軟件 ● LED 顯示 4通道MFC采用316不銹鋼制作，氣體流量如下： ● 通道1: 0~100SCCM ● 通道 2: 1~199 SCCM ● 通道 3: 1~199 SCCM ● 通道4: 1~499 SCCM ●4個(gè)通道的氣體經(jīng)過氣體混合罐尺寸: 600(L) x 745(W) x 700(H), mm
	功率	18W
	額定電壓	AC 208-240V, 單相, 50/60Hz
開門斷電	● 為保證使用安全，該電爐為開門斷電設(shè)計(jì)
應(yīng)用注意事項(xiàng)	●爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ●由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 ●當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) ●進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 ●石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃ ●對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
質(zhì)量認(rèn)證	所有電器元件（>24V）都通過UL?/?MET?/?CSA認(rèn)證/ CE認(rèn)證,若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

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