單溫區(qū)
● 一對SS304不銹鋼法蘭，通過用兩個高溫O型圈緊密密封可獲得高真空
● 爐子底部裝有一對滑軌，爐子可以手動從一端滑向另一端，實現(xiàn)快速的加熱和冷卻
● 雙管道設(shè)計，內(nèi)外管徑分別為80mm、100mm,用于沉積的襯底包裹在內(nèi)管外壁表面
● 高純氧化鋁保溫材料，保證了爐膛有極好的溫度均勻性
● 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的1750℃高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
● 爐子底部的冷卻風(fēng)扇加快了熱量發(fā)散
● 密封法蘭系統(tǒng)全不銹鋼制作

雙溫區(qū)
● 高純氧化鋁保溫材料，保證了爐膛有極好的溫度均勻性
● 爐子底部的冷卻風(fēng)扇加快了熱量發(fā)散
● 工作溫度：最高1200℃；連續(xù)1100℃
● 兩段加熱區(qū)分別獨立控溫（每個加熱區(qū)長度200mm，總長400mm）
● 兩個溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度，恒溫區(qū)可增加至250mm
● 在兩個溫區(qū)中間放入管堵（隔熱）則兩溫區(qū)溫差可達300℃。

單溫區(qū)

最快的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關(guān)，請點擊下圖看出最快的加熱和冷卻速度隨溫度的變化而變化。在使用爐子之前，要校準(zhǔn)工作溫度和加熱、冷卻速度。
此為參考值，因?qū)嶒灜h(huán)境不同，會有差異，具體請咨詢銷售部。

● 兩對真空密封法蘭，含水冷套和不銹鋼針閥
● 內(nèi)管：O.D80 ×I.D 75×L1800 mm
● 外管：O.D100×I.D 96×L1400 mm

● 雙石英管：外管直徑100mm ，懸掛的內(nèi)管直徑80mm. 金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生CVD反應(yīng)
● 雙管的真空密封法蘭：允許反應(yīng)氣體通過兩管之間（10mm間隙）發(fā)生反應(yīng)，冷卻氣體直接通入內(nèi)管
● 四通道質(zhì)量流量計控制4路氣體
● 配有KF25快接和波紋管的高速機械泵
● 爐子底部裝有滑軌：爐子可以從一端滑向另一端，從而實現(xiàn)快速升溫和降溫

利用雙管爐采用CVD法以金屬箔為襯底上生長的薄膜(纏繞在內(nèi)收卷輥表面)

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如下圖所示，一對不銹鋼真空法蘭密封了外管道，內(nèi)管道和內(nèi)外管道之間的空間(該空間為反應(yīng)室)。
將兩端內(nèi)管的兩端打開以供氣體冷卻。

極限真空度: 10^-2 torr (機械泵)
                   10^-5 torr (分子泵)

本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8×10E-5至1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。

● PID自動控制
● 可編制30段升降溫控制程序
● 內(nèi)置過熱報警裝置，無需人員看護
● 內(nèi)置超溫保護和報警裝置
● 控溫精度: ±1℃
● 默認(rèn)RS485通信端口
● 可選購電腦溫度控制軟件(用于YD518P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)

● 可選購歐陸型溫控儀表，控溫精確度可以提升到±0.1℃
● 具體詳情請致電我公司銷售

● 安裝在移動架底部的機械泵，真空度達10E-3torr（參考值，詳情請點擊）
● 真空泵與手動擋板閥之間用KF25 快接與不銹鋼波紋管連接
● 數(shù)字真空表安裝在一端的法蘭上
● 選擇：可以配分子泵，真空度達 10E-5torr（參考值，詳情請點擊）

● 法蘭上的水冷主要是為了保護法蘭內(nèi)O形圈，以確保其在高溫下的密封性。
● 你可以直接接通自來水冷卻，但考慮到經(jīng)濟環(huán)保我們建議你使用循環(huán)水冷機。請點擊下圖選購循環(huán)水冷機。

● 你可以將該款雙管爐改為單管爐使用（Ф80mm）。單管爐的真空法蘭需要您額外定購。
● 左法蘭:設(shè)置有寶塔嘴式進口及針閥，Ф1/4"鎧裝口供客戶端插入熱電偶，用于溫度校準(zhǔn)。
● 右側(cè)法蘭:KF25接口，機械壓力表，出氣口及針閥

作為基片用的25um厚的銅箔

590L×380W×520H mm(爐體）
600L×600W×700H mm(真空泵）
600L×850W×700H mm(混氣系統(tǒng)）

136Kg

● 石英爐管采用真空密封，管內(nèi)可處于微正壓但壓力小于0.02MPa
● 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。（請點擊這里學(xué)習(xí)如何安裝減壓閥）
● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。（請點擊這里學(xué)習(xí)如何安裝爐管和真空法蘭）
● 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
● 石英管的長時間使用溫度＜1100℃
● 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
● 滑軌上設(shè)置有一個爐體定位裝置（如下圖）
● 在進行化學(xué)氣相沉積后，石墨烯可從金屬催化劑轉(zhuǎn)移到另一個基片襯底上，此法可被廣泛應(yīng)用制備二維材料。通過CVD法生長的石墨烯，表面平整度高且無殘渣。

專利名稱：一種快速高溫退火爐
專利編號：ZL-2011-2-0077168.4
尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權(quán)必究

● 為了得到較快的加熱速度，可以先將爐膛預(yù)熱，然后滑到放置樣品的位置。
● 為了獲得較快的冷卻的速度，把爐子滑向另一端，同時將冷卻氣體通入樣品所在的位置。

樣品的快速升溫和冷卻可以通過滑移加熱的爐體來實現(xiàn)。請在操作時穿上防護裝備，如防熱服和高溫手套。禁止用手去觸碰加熱的爐管表面!

所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。