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OTF-1200X-III-R5-PECVD 1200℃5英寸三溫區(qū)等離子增強(qiáng)粉體回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：OTF-1200X-III-R5-PECVD是一款1200℃等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積三溫區(qū)回轉(zhuǎn)管式爐系統(tǒng)（R-PECVD），等離子增強(qiáng)系統(tǒng)的引入可在相對(duì)較低的溫度下實(shí)現(xiàn)粉末表面的包覆復(fù)合、核殼結(jié)構(gòu)制備等工藝過程。自動(dòng)進(jìn)出料系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)，可保證在氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行粉體的進(jìn)給以及收集，包含射頻電源（帶自動(dòng)匹配功能）、4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)以及真空泵系統(tǒng)，可由PLC觸摸屏或者PC電腦控制，使用方便快捷。

產(chǎn)品型號(hào) ：OTF-1200X-III-R5-PECVD

上架時(shí)間：2019-07-04

安裝尺寸：爐體：2800mm L x 800mm W x 1700mm H

供氣系統(tǒng)：600mmL x 700mm W x 700mm H

重量：180kg

A^-A⁺

產(chǎn)品簡(jiǎn)述產(chǎn)品詳情產(chǎn)品視頻留言咨詢

OTF-1200X-III-R5-PECVD是一款1200℃等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積三溫區(qū)回轉(zhuǎn)管式爐系統(tǒng)（R-PECVD），等離子增強(qiáng)系統(tǒng)的引入可在相對(duì)較低的溫度下實(shí)現(xiàn)粉末表面的包覆復(fù)合、核殼結(jié)構(gòu)制備等工藝過程。自動(dòng)進(jìn)出料系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)，可保證在氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行粉體的進(jìn)給以及收集，包含射頻電源（帶自動(dòng)匹配功能）、4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)以及真空泵系統(tǒng)，可由PLC觸摸屏或者PC電腦控制，使用方便快捷。

性能指標(biāo)和基本配置
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)	● 爐體可在0 ~ 25°內(nèi)傾斜有利于粉末樣品的裝卸 ● 300W射頻電源（13.56MHz）可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度 ● 齒輪驅(qū)動(dòng)管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性 ● 4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控 ● 配備自動(dòng)進(jìn)出料系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)，可保證在氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行粉體的進(jìn)給以及收集
三溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐	● 最高溫度：1200oC(< 1h) 連續(xù)工作溫度：1100℃ ● 三個(gè)PID溫度控制器以及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±0.1℃ ● 輸入功率：208-240V，單相，最大功率：4KW ● 高純氧化鋁纖維保溫層可以最大限度降低能耗 ● 回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度：2-10rpm ● 爐體開啟式設(shè)計(jì)，以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫，方便更換爐管 ● 三溫區(qū)：152mm+304mm+152mm，總溫區(qū)長(zhǎng)度為609mm ● 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：480mm(三溫區(qū)設(shè)置為同樣溫度時(shí)，±2℃)
等離子射頻電源	● 輸出功率：5-300W可調(diào)（穩(wěn)定性：±1%） ● 射頻頻率：13.56MHz(穩(wěn)定性：±0.005%) ● 最大反射功率：100W ● 匹配：自動(dòng)匹配 ● 射頻輸出端口：50Ω、N型 ● 噪音：＜50dB ● 冷卻: 空氣冷卻 ● 電源: 208 -240VAC, 50/60Hz
石英管	● 標(biāo)準(zhǔn)5英寸高純異形石英管 ● 兩端直徑為60mm,中間直徑為127mm
密封法蘭	● 一對(duì)不銹鋼快接法蘭（法蘭上安裝有KF25真空接頭） ● 磁流體密封旋轉(zhuǎn)接頭安裝在兩端保證旋轉(zhuǎn)過程中進(jìn)氣管和其它附件的正常使用，避免卷繞
旋轉(zhuǎn)速度	2-10rpm可調(diào)
爐體可傾斜角度	0~30°
真空泵及真空表	● EQ-YTP-550雙級(jí)真空泵包含在設(shè)備中，請(qǐng)點(diǎn)擊圖片了解詳細(xì)參數(shù) ● KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵 ● 真空度可達(dá)10-2Torr 注：可選購(gòu)防腐型數(shù)顯真空表EQ-PCG-554 用于乙炔甲烷氫氣等其他氣體氛圍下的真空度測(cè)量
4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)	4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）流量范圍: ● 一路: 0~100 SCCM ● 二路: 0~200 SCCM ● 三路: 1~200 SCCM ● 四路: 1~500 SCCM ● 電壓：208-240V AC 50/60Hz 氣體進(jìn)出口配件： ● 6mmOD的聚四氟管或不銹鋼管 ● 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出 ● PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置
容積式進(jìn)料器	● EQ-PF-1S是一款容積式自動(dòng)喂料器，包含一電動(dòng)攪拌器以及帶有振動(dòng)裝置的不銹鋼料斗?？蓪?shí)現(xiàn)固體粉料的自動(dòng)化喂料，從而實(shí)現(xiàn)固態(tài)粉料的連續(xù)式燒結(jié)/熱處理 ● 2L不銹鋼收集桶安裝在右側(cè)，可實(shí)現(xiàn)真空氣氛保護(hù)環(huán)境下的粉料樣品收集（標(biāo)配中包含）
溫度控制	● 2個(gè)溫區(qū)分別由2個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制 ● 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序 ● 采用K型熱偶，控溫精度+/- 1℃ ● RS485通信端口。
產(chǎn)品尺寸	2800mm L x 800mm W x 1700mm H，供氣系統(tǒng)：60600mmL x 700mm W x 700mm H
產(chǎn)品重量	180kg
應(yīng)用注意事項(xiàng)	●爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ●由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 ●當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 ●石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度＜1100℃ ●對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
質(zhì)量認(rèn)證	所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證/ CE認(rèn)證，如您另外付費(fèi)，我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。
免責(zé)聲明	本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等）僅供參考?？赡苡捎诟虏患皶r(shí)和網(wǎng)站不可預(yù)知的BUG造成數(shù)據(jù)與實(shí)物的偏差。如果您對(duì)參數(shù)有異議，或者想了解產(chǎn)品詳細(xì)信息，請(qǐng)與本公司銷售人員聯(lián)系。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，科晶公司會(huì)不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知，請(qǐng)您見諒。

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