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OTF-1200X-II-4CV-PE-SL-UL 滑動式雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：OTF-1200X-II-4CV-PE-SL 是一款滑動式雙溫區(qū)PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含500W等離子源, 80Dx1600L mm 滑動式雙溫區(qū)管式爐, 4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和機(jī)械泵機(jī)組，這款 PECVD系統(tǒng)可用于生長納米或石墨烯。

產(chǎn)品型號：OTF-1200X-II-4CV-PE-SL

上架時間：2019-07-04

安裝尺寸：爐體: 550 x 380 x 520 mm

滑軌: 1750 mm 長

移動架: 1200 x 1200 x 600mm

重量：220 Lbs

A^-A⁺

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OTF-1200X-II-4CV-PE-SL 是一款滑動式雙溫區(qū)PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含500W等離子源, 80Dx1600L mm 滑動式雙溫區(qū)管式爐, 4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和機(jī)械泵機(jī)組，這款 PECVD系統(tǒng)可用于生長納米或石墨烯。

性能指標(biāo)和基本配置
設(shè)備型號	OTF-1200X-50-II-4CV-PE-SL-UL OTF-1200X-80-II-4CV-PE-SL-UL OTF-1200X-130-III-4CV-PE-SL-UL
爐管尺寸	2" (50mm) OD x 1.7" ID x 71" L 3.14" (80mm) OD x 2.83" ID x 71'' L 5" (130mm) OD x 4.8" ID x 84'' L
產(chǎn)品特點	●與傳統(tǒng)的CVD相比，只需較低的制備溫度 ● 滑軌式可快速加熱和快速冷卻 ● 兩個加熱區(qū)，溫度梯度最大可達(dá) 200oC ● 最高工作溫度1100°C ● 提供一個寬范圍的材料制備，如碳和 ZnO 納米管或納米線以及單層石墨烯。 ● 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
等離子發(fā)射源	● 輸出功率:5 -500W ± 1% . ● 射頻頻率:13.56 MHz ±0.005% . ● 反射功率:最大 200W ● 匹配:自動 ● 射頻接口:50 Ω, N-type ● 噪音:<50 dB ● 冷卻: 風(fēng)冷. ● 電源:AC 208-240V, 50/60Hz
真空泵機(jī)組	● 我公司有多種真空泵可選，請點擊圖片，或是致電我公司銷售。 ● KFD25 快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連. ● 管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr ● 防腐型真空計( 美國) 安裝在左法蘭上. 本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點擊圖片查看詳細(xì)介紹）
質(zhì)量流量計	四個精密的質(zhì)量流量計(精度0.02% ) ： ● 數(shù)字顯示，自動控制. ● MFC 1范圍: 0~100 sccm ● MFC 2和3: 0~200 sccm ● MFC 4范圍: 0~500 sccm ● 一個混氣罐，底部裝有泄廢液口. ● 4 個不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動控制4種氣體. ● 進(jìn)氣口: 4個1/4NPS. ● 出氣口: 4個 1/4NPS.
控溫軟件	● 計算機(jī)可以通過控溫軟件控制爐子：RS485 接口和軟件是免費(fèi)的，但需要購買數(shù)據(jù)線和一個控制模塊 ● 為了獲得較大的升溫速度, 必須預(yù)熱到設(shè)定溫度，然后將爐子滑到樣品位置。 ● 為了獲得較快的降溫速度,可將加熱的爐子從熱區(qū)滑到冷區(qū).
外形尺寸	● 爐體: 550 x 380 x 520 mm ● 滑軌: 1750 mm 長 ● 移動架: 1200 x 1200 x 600mm.
重量	● 凈重: 220 Lbs. ● 運(yùn)輸重量: 500lbs.
開門斷電	● 為保證使用安全，該電爐為開門斷電設(shè)計
應(yīng)用注意事項	●爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ●由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ●當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) ●進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ●石英管的長時間使用溫度＜1100℃ ●對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
國家專利	專利名稱：可組合式等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置專利編號：ZL-2011-2-0355777.1 尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權(quán)必究
質(zhì)量認(rèn)證	所有電器元件（>24V）都通過UL?/?MET?/?CSA認(rèn)證/ CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點擊查看售后服務(wù)承諾書。

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