應(yīng)用范圍:OTF-1200X-II-PE-RR是一套卷對(duì)卷石墨烯制備管式爐系統(tǒng),設(shè)備由卷對(duì)卷銅箔收放密封裝置、500W等離子源、1200℃雙溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)、真空機(jī)組5部分組成。此設(shè)備可用于大面積、高質(zhì)量石墨烯及其他二維材料的規(guī)?;L(zhǎng)。
產(chǎn)品型號(hào) :OTF-1200X-II-PE-RR
上架時(shí)間 :2019-07-04
安裝尺寸:2400*600*1250mm
重量:260kg
OTF-1200X-II-PE-RR是一套卷對(duì)卷石墨烯制備管式爐系統(tǒng),設(shè)備由卷對(duì)卷銅箔收放密封裝置、500W等離子源、1200℃雙溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)、真空機(jī)組5部分組成。此設(shè)備可用于大面積、高質(zhì)量石墨烯及其他二維材料的規(guī)?;L(zhǎng) 。
性能指標(biāo)和基本配置 | ||
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1200℃雙溫區(qū)管式爐 |
● 工作電源:AC220V,50/60Hz |
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500W等離子源 |
● 輸出功率:50-500W最大可調(diào)±1% |
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三路質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng) |
● 電壓:AC220V/50Hz |
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真空測(cè)量單元 |
● 型號(hào):PGC-554-LD |
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低真空機(jī)組(標(biāo)配) |
● 由雙旋機(jī)械泵、雙層立式油霧過(guò)濾器(PE材質(zhì))、電阻真空計(jì)以及連接管道接頭等組成 |
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壓力恒定控制系統(tǒng)(選配) |
壓力恒定控制范圍(進(jìn)氣氣氛為氬氣): |
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卷對(duì)卷銅箔收放密封裝置 |
● 采用卷對(duì)卷收放卷機(jī)構(gòu)進(jìn)行銅箔的移動(dòng)進(jìn)出料,銅箔的移動(dòng)速度為1-400mm/min可調(diào); |
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石英氣體噴嘴 |
可選配石英氣體噴嘴,將反應(yīng)氣體與緩沖清洗氣體分開(kāi)通入,可有效減少副反應(yīng)發(fā)生,實(shí)現(xiàn)高端CVD工藝,如局部控制前體濃度化學(xué)氣相沉積工藝(ALC CVD)或單晶二維材料薄膜的生長(zhǎng)工藝等。 |
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產(chǎn)品尺寸 | ||
產(chǎn)品重量 |
260kg |
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質(zhì)量認(rèn)證 |
電器元件可選擇通過(guò)CE認(rèn)證 |
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保修期 |
一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。 |
|
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