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小巨人
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OTF-1200X-II-PE-RR 卷對(duì)卷石墨烯制備管式爐系統(tǒng)

應(yīng)用范圍:OTF-1200X-II-PE-RR是一套卷對(duì)卷石墨烯制備管式爐系統(tǒng),設(shè)備由卷對(duì)卷銅箔收放密封裝置、500W等離子源、1200℃雙溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)、真空機(jī)組5部分組成。此設(shè)備可用于大面積、高質(zhì)量石墨烯及其他二維材料的規(guī)?;L(zhǎng)。 

產(chǎn)品型號(hào) :OTF-1200X-II-PE-RR 

上架時(shí)間 :2019-07-04 

安裝尺寸:2400*600*1250mm 

重量:260kg

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       OTF-1200X-II-PE-RR是一套卷對(duì)卷石墨烯制備管式爐系統(tǒng),設(shè)備由卷對(duì)卷銅箔收放密封裝置、500W等離子源、1200℃雙溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)、真空機(jī)組5部分組成。此設(shè)備可用于大面積、高質(zhì)量石墨烯及其他二維材料的規(guī)?;L(zhǎng) 。

 性能指標(biāo)和基本配置
1200℃雙溫區(qū)管式爐

● 工作電源:AC220V,50/60Hz
● 功率:3KW
● 加熱元件:電阻絲
● 最高溫度:1200℃ (使用時(shí)必須通入惰性氣體以防止?fàn)t管發(fā)生形變)
● 長(zhǎng)期使用溫度:1100℃
● 推薦升溫速率:≤ 20℃ /min
● 爐管:高純石英管:φ80*1400mm
● 總加熱區(qū)長(zhǎng)度:400mm
● 恒溫區(qū)長(zhǎng)度:200mm
● PID控溫,具有超溫及斷偶保護(hù)
● 控溫精度:±1℃

500W等離子源

● 輸出功率:50-500W最大可調(diào)±1%
● RF頻率: 13.56MHz,穩(wěn)定性±0.005%
● 噪聲:≤55DB
● 冷卻:風(fēng)冷
● 輸入功率:1KW  AC 220V

三路質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)

● 電壓:AC220V/50Hz
● 功率:23W
● PLC觸摸屏控制
● 混氣罐尺寸:φ80*120mm
● 工作溫度:5~45 oC
● 最大壓力: 3x106 Pa
● 精度: ±1.5% FS
● 線性: ±(0.5-1.5)%F.S.
● 重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
● 流量范圍:
● 一路: 1~50 SCCM (甲烷標(biāo)定)
● 二路: 1~200 SCCM (氫氣標(biāo)定)
● 三路: 1~200 SCCM (氬氣標(biāo)定)
氣體種類標(biāo)定根據(jù)客戶要求可以進(jìn)行其它選擇

真空測(cè)量單元

● 型號(hào):PGC-554-LD
● 顯示范圍:3.8E-5 to 1125 Torr
精度:
● 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50
● 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15
● 100 … 950 mbar % of reading ±5
● 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5

低真空機(jī)組(標(biāo)配)

● 由雙旋機(jī)械泵、雙層立式油霧過(guò)濾器(PE材質(zhì))、電阻真空計(jì)以及連接管道接頭等組成
● 真空泵抽氣速率≥4.4L/s
● 極限真空度10-1Pa
● 真空計(jì)測(cè)量范圍10-1Pa-105 Pa

壓力恒定控制系統(tǒng)(選配)

壓力恒定控制范圍(進(jìn)氣氣氛為氬氣):
● 760mtorr(100Pa)-----225torr(30000Pa)(按照進(jìn)氣量為500sccm)
● 600mtorr(80Pa)-----200torr(26660Pa)(按照進(jìn)氣量為300sccm)
● 300mtorr(40Pa)-----185torr(24660Pa)(按照進(jìn)氣量為100sccm)
● 180mtorr(24Pa)-----100torr(13333Pa)(按照進(jìn)氣量為50sccm)
壓力恒定控制精度:
● 180mtorr-----2.5torr(±%10)
● >2.5torr-----10torr(±%40)
● >10 torr------200torr(±%5)

卷對(duì)卷銅箔收放密封裝置

● 采用卷對(duì)卷收放卷機(jī)構(gòu)進(jìn)行銅箔的移動(dòng)進(jìn)出料,銅箔的移動(dòng)速度為1-400mm/min可調(diào);
● 配置一卷約5公斤重的銅箔,銅箔寬度:65mm,銅箔厚度0.025mm;
● 收放卷機(jī)構(gòu)別放置于管式爐兩端真空腔體內(nèi),保證銅箔可在密封生長(zhǎng)條件下進(jìn)行運(yùn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)大規(guī)模制備 。
● 收卷機(jī)構(gòu)與管式爐之間設(shè)置冷卻裝置用于銅箔的快速冷卻。
1

石英氣體噴嘴

可選配石英氣體噴嘴,將反應(yīng)氣體與緩沖清洗氣體分開(kāi)通入,可有效減少副反應(yīng)發(fā)生,實(shí)現(xiàn)高端CVD工藝,如局部控制前體濃度化學(xué)氣相沉積工藝(ALC CVD)或單晶二維材料薄膜的生長(zhǎng)工藝等。
1

產(chǎn)品尺寸

2400*600*1250mm
1

產(chǎn)品重量

260kg

質(zhì)量認(rèn)證

電器元件可選擇通過(guò)CE認(rèn)證

保修期 一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)。
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