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ALD-1200X-R-4 ALD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：ALD-1200X-R-4是一款4英寸ALD旋轉(zhuǎn)管式爐系統(tǒng)，包含用于原子層沉積的2個(gè)ALD進(jìn)氣閥、1個(gè)精密液體氣相發(fā)生器以及4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)，可利用此系統(tǒng)進(jìn)行粉末表面的ALD和CVD包覆。該系統(tǒng)簡潔的設(shè)計(jì)使得更多的科研院所能夠在可負(fù)擔(dān)的低成本情況下實(shí)現(xiàn)ALD工藝實(shí)驗(yàn)。

產(chǎn)品型號(hào) ：ALD-1200X-R-4

上架時(shí)間：2019-07-09

A^-A⁺

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ALD-1200X--R-4是一款4英寸ALD旋轉(zhuǎn)管式爐系統(tǒng)，包含用于原子層沉積的2個(gè)ALD進(jìn)氣閥、1個(gè)精密液體氣相發(fā)生器以及4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)，可利用此系統(tǒng)進(jìn)行粉末表面的ALD和CVD包覆。該系統(tǒng)簡潔的設(shè)計(jì)使得更多的科研院所能夠在可負(fù)擔(dān)的低成本情況下實(shí)現(xiàn)ALD工藝實(shí)驗(yàn)。

性能指標(biāo)和基本配置
控制面板	● 蒸汽壓力、ALD以及氣體流量參數(shù)均可通過一6英寸接觸屏由PLC進(jìn)行控制。 ● 兩個(gè)ALD進(jìn)氣閥。 ● 一個(gè)精密的4通道質(zhì)子流量計(jì)系統(tǒng)。 ● 請(qǐng)點(diǎn)擊下圖查看控制面板。
ALD進(jìn)氣閥	兩個(gè)ALD脈沖電磁閥（最小可在10ms完成閥門的開啟或關(guān)閉）
精密液體氣相發(fā)生器	精密液體氣相發(fā)生器包含在本系統(tǒng)中并且連接到ALD進(jìn)氣閥
旋轉(zhuǎn)管式爐	● 連續(xù)工作的最高溫度為1100℃ ● 兩個(gè)溫區(qū)由兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)來控制，而且都為PID30段程序化控溫 ● 輸入電壓：208-240V AC，單向 ● 最大功率為4KW ● 爐管旋轉(zhuǎn)速度：0-10rpm ● 回轉(zhuǎn)爐爐管結(jié)構(gòu)如下圖所示：
真空計(jì)	公司具有多種真空機(jī)可供選
真空泵（選配）	公司具有多種真空泵可供選配
更多可選配件	● 可選購氣液混合裝置，用于CVD系統(tǒng)（圖1.2） ● 可選購恒溫控制模塊（圖3） ● 可選購金石英測試晶體（圖4）以及熱電偶用于薄膜厚度以及溫度的測試
相關(guān)應(yīng)用	可利用ALD系統(tǒng)顯著降低石榴石結(jié)構(gòu)固態(tài)電解質(zhì)與電極之間的高的固固界面阻抗，相關(guān)文獻(xiàn)：Negating interfacial impedance in garnet-based solid-state Li metal batteries
應(yīng)用注意事項(xiàng)	● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ● 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 ● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) ● 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊 ● 石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃ ● 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
質(zhì)量認(rèn)證	所有電器元件（＞24V）均滿足UL/MET/CSA認(rèn)證/CE認(rèn)證，如您另付費(fèi)用，我們可保證單臺(tái)儀器通過TUV（UL61010）或CSA認(rèn)證
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

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