應(yīng)用范圍:CGM-2F是一款小型的兩通道混氣系統(tǒng),用于惰性氣體的控制,可用以小型管式爐,手套箱,等離子清洗機,小型PECVD系統(tǒng)等。
產(chǎn)品型號 :CGM-2F
上架時間 :2019-07-09
安裝尺寸:340 mm L x 300 D mm x 180 H mm
重量:約10 Kg
CGM-2F是一款小型的兩通道混氣系統(tǒng),用于惰性氣體的控制,可用以小型管式爐,手套箱,等離子清洗機,小型PECVD系統(tǒng)等。
性能指標和基本配置 | |
---|---|
浮子流量計 |
兩個浮子流量計可以將流量速率控制在16 to 160 mL/min |
混氣罐 |
內(nèi)置一個不銹鋼混氣罐,可以良好的混氣 |
機械壓力表(混氣罐) |
-0.1-0.15 MPa |
關(guān)鍵和閥門 | |
外形尺寸 |
340 mm L x 300 D mm x 180 H mm |
凈重 |
約10 Kg |
可選 |
● CVD或者PECVD |
保修期 |
一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點擊查看售后服務(wù)承諾書。 |
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