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GSL-2Z-LCD-S 小型二通道混氣系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：GSL-2Z-LCD-S是一款小型的兩通道質(zhì)子流量計混氣系統(tǒng)，PLC觸摸屏控制各通道氣路流量，并可實時查看流量數(shù)據(jù)及曲線，可與本公司各種管式爐、CVD、PECVD、鍍膜儀等設(shè)備配套使用，實現(xiàn)PVD、CVD、PECVD以及熱處理等實驗氣氛的精確控制。

產(chǎn)品型號：GSL-2Z-LCD-S

上架時間：2019-07-09

安裝尺寸：360 mm L x 300 D mm x 190 H mm

重量：8.4kg

A^-A⁺

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GSL-2Z-LCD-S是一款小型的兩通道質(zhì)子流量計混氣系統(tǒng)，PLC觸摸屏控制各通道氣路流量，并可實時查看流量數(shù)據(jù)及曲線，可與本公司各種管式爐、CVD、PECVD、鍍膜儀等設(shè)備配套使用，實現(xiàn)PVD、CVD、PECVD以及熱處理等實驗氣氛的精確控制。

性能指標(biāo)和基本配置
基本參數(shù)	● 工作溫度：5~45oC ● 最大壓力:0.3MPa ● 精度: ±1.5% FS ● 重復(fù)精度: ±0.2%F.S. 流量范圍: ● 一路：1-99 SCCM ● 二路：1-199 SCCM （其他流量范圍可定制） ● 注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用
輸入電源	AC 220V，50/60Hz
功率	100W
PLC觸摸屏	各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一觸摸屏上
混氣罐	內(nèi)置一個不銹鋼混氣罐，可以良好的混氣
機械壓力表	● 有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接 ● 量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
針閥	316 不銹鋼
通氣管道	● 內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管 ● 外部通氣管道為1/4”聚四氟管
混氣罐	內(nèi)置一個不銹鋼混氣罐，可以良好的混氣
機械壓力表	● 有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接 ● 量程:-0.1~0.15 MPa
針閥	316 不銹鋼
通氣管道	● 內(nèi)部連接管道為1/4”不銹鋼管 ● 外部通氣管道為1/4”聚四氟管
外形尺寸	360 mm L x 300 D mm x 190 H mm
產(chǎn)品重量	8.4kg
相關(guān)產(chǎn)品	CVD & PECVD?管式爐（點擊圖片查看詳細(xì)資料）
質(zhì)量認(rèn)證	CE認(rèn)證
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點擊查看售后服務(wù)承諾書。

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