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GSL-1700X-III-F3LV 1700℃三溫區(qū)管式爐

應(yīng)用范圍：GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機械泵，混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達1700℃，真空度可達到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。

產(chǎn)品型號：GSL-1700X-III-F3LV

上架時間：2019-08-05

安裝尺寸：高溫爐: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch)

A^-A⁺

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GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機械泵，混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達1700℃，真空度可達到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。

性能指標和基本配置
爐體結(jié)構(gòu)	● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于55℃ ● 爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，最大程度減少能量損失 ● 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長爐膛的使用壽命 ● 三個溫區(qū)分別被三個獨立的溫控系統(tǒng)控制
最大功率	10KW(需要75A的空氣開關(guān) )
電壓	AC 380V 50 Hz
加熱區(qū)	● 總加熱區(qū)長度：25" (630 mm) ● 加熱溫區(qū)1長度：7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱，最高溫度可達1400℃ 注：由于測量手段及外部環(huán)境的影響，測量結(jié)果可能會有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請與我公司銷售人員聯(lián)系 ● 升溫速率：10°C/min ● 加熱溫區(qū)2長度：10" (250 mm)1700°C 通6根硅鉬棒加熱，最高溫度可達1700℃ ● 最快升溫速率：5°C/min ● 加熱溫區(qū)3長度：7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱，最高溫度可達1400℃ ● 最大升溫速率：10°C/min
爐管和法蘭尺寸	● 99.8%高純剛玉管 purity Alumina Tube ● （標配）( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1200mm L ● 一對60mm的不銹鋼密封法蘭，法蘭上已安裝閥門和儀表 ● 儀器中包括4個氧化鋁管堵
溫控系統(tǒng)	3個溫控系統(tǒng)，都是PID30段程序化控溫
控溫精確度	+/-1°C
低真空系統(tǒng)	● 采用TRP-12的雙旋機械泵，其針對于本公司的管式爐，真空度可達到 10-2 Torr. ● 一個KF25的不銹鋼波紋管已安裝在真空系統(tǒng)上，其尺寸為 25mm Dia x 1000mm length ，可于管式爐上的法蘭相連接
防腐型真空計	其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換
三路浮子混氣系統(tǒng)	● 3個浮子流量計（精確度4%FS）安裝在一個移動架上，可以推動，可同時混入三種不同氣體。 ● 第一路氣體流量范圍為10-100 cc/min. ● 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min. ● 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min. ● 一個壓力表安裝在移動加上，壓力表直接于移動架內(nèi)的混氣箱相連接 ● 移動架上安裝有4個不銹鋼針閥
尺寸	高溫爐: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch)
質(zhì)保期& 質(zhì)量認證	一年質(zhì)保期. (不包括爐管加熱元件和密封圈 .) CE certified

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