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PCE-6 小型等離子清洗機(jī)

應(yīng)用范圍：PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為?160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率3.0MHz（1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。

產(chǎn)品型號(hào) ：PCE-6

上架時(shí)間：2019-09-03

安裝尺寸：約L400*W300*H300mm（不含真空泵）

重量：約10.2kg（不含真空泵）

A^-A⁺

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PCE-6小型等離子清洗機(jī)的等離子腔體為?160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率3.0MHz（1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。

功能特點(diǎn)

通過(guò)控制面板的按鍵及開(kāi)關(guān)，可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開(kāi)閉、清洗時(shí)間；
時(shí)間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上；
設(shè)有一個(gè)三通閥，可精確控制進(jìn)氣流量，以及大氣流清洗腔體，進(jìn)氣接口為6mm卡套接口；
選用大功率射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實(shí)驗(yàn)；
設(shè)備可實(shí)現(xiàn)清洗及蝕刻功能如下：

技術(shù)參數(shù)
電源	單相AC220V±10%，頻率：50Hz/60Hz，總功率約600W（含真空泵）
輸出功率	7.2W、10.2W、29.6W
射頻頻率	3.0MHz，功率3檔可手動(dòng)調(diào)節(jié)
等離子腔體	高純石英腔體，?160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封，法蘭上設(shè)有?45mm的觀察窗
真空泵	標(biāo)配直連式雙旋真空泵，流量120L/min，功率約500W
極限真空度	50mtorr
通入氣體	可通入多種氣體來(lái)產(chǎn)生等離子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等（根據(jù)材料性質(zhì)選定）
外形尺寸	約L400W300H300mm（不含真空泵）
重量	約10.2kg（不含真空泵）

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