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GPC-100A 精確磨拋控制儀

應(yīng)用范圍：GPC-100A精確磨拋控制儀簡稱磨拋控制儀，主要用來控制被研磨樣品表面的平面度和平行度，使磨拋后的樣品具有高的尺寸精度和質(zhì)量優(yōu)良的表面狀態(tài)。磨拋控制儀采用質(zhì)量優(yōu)良的不銹鋼材料制成，外形美觀，制造工藝精湛，主要適用于UNIPOL-1202、UNIPOL-1502研磨拋光機(jī)上，是工件進(jìn)行磨拋時(shí)不可缺少的精密磨拋器具，尤其適用于晶圓樣品、表面平行度和平面度要求高的大的圓片狀樣品的研磨。GPC-100A精確磨拋控制儀專用載樣塊用螺紋與控制儀進(jìn)行連接，試樣裝卡方式為真空吸附，并配有數(shù)顯厚度測量儀，可實(shí)時(shí)監(jiān)測樣品減少的厚度，承載樣件直徑不大于103mm、厚度不大于13mm且具有工藝重復(fù)性高的優(yōu)點(diǎn)。

產(chǎn)品型號：GPC-100A

上架時(shí)間：2019-09-17

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GPC-100A精確磨拋控制儀簡稱磨拋控制儀，主要用來控制被研磨樣品表面的平面度和平行度，使磨拋后的樣品具有高的尺寸精度和質(zhì)量優(yōu)良的表面狀態(tài)。磨拋控制儀采用質(zhì)量優(yōu)良的不銹鋼材料制成，外形美觀，制造工藝精湛，主要適用于UNIPOL-1202、UNIPOL-1502研磨拋光機(jī)上，是工件進(jìn)行磨拋時(shí)不可缺少的精密磨拋器具，尤其適用于晶圓樣品、表面平行度和平面度要求高的大的圓片狀樣品的研磨。GPC-100A精確磨拋控制儀專用載樣塊用螺紋與控制儀進(jìn)行連接，試樣裝卡方式為真空吸附，并配有數(shù)顯厚度測量儀，可實(shí)時(shí)監(jiān)測樣品減少的厚度，承載樣件直徑不大于103mm、厚度不大于13mm且具有工藝重復(fù)性高的優(yōu)點(diǎn)。

性能指標(biāo)和基本配置
主要特點(diǎn)	可嚴(yán)格控制被磨樣品表面的平行度和平面度，控制準(zhǔn)確度高。研磨過程中可搭配數(shù)顯測厚儀使用，隨時(shí)觀測樣品磨削量，尤其適用于表面平行度和平面度及樣品厚度要求高的晶圓樣品研磨使用。
技術(shù)參數(shù)	● 載樣盤直徑：?103mm ● 載樣盤軸向行程：14mm ● 數(shù)顯表精度：0.001mm ● 載樣盤可調(diào)加載壓力：0.1kg-2.1kg ● 壓力確認(rèn)儀有效量程：1g-5000g ● 樣品裝卡方式：真空吸附 ● 承載樣件尺寸：直徑≤103mm、厚度≤13mm
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：外徑146mm，高266mm
標(biāo)準(zhǔn)配件	● 真空泵 ● 過濾瓶 ● 底座 ● 玻璃片

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