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MSK-PSE-ALD1010 原子層沉積系統(tǒng)

產(chǎn)品型號(hào)：MSK-PSE-ALD1010

上架時(shí)間：2024-05-07

版本號(hào)：V1.0

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功能特點(diǎn)

外熱式反應(yīng)腔體，加熱結(jié)構(gòu)在真空室外，反應(yīng)腔室維護(hù)保養(yǎng)無(wú)需拆卸腔室加熱器或樣品臺(tái)加熱器；
配有可拆卸片托，支持100mm*100mm方片及以下尺寸的樣品；
3路前驅(qū)體源系統(tǒng)（包括2路金屬源和1路水源）；
高性能真空系統(tǒng)和殘余前驅(qū)體源處理熱阱；
自動(dòng)控制沉積系統(tǒng)和工藝壓力實(shí)時(shí)檢測(cè)顯示；
可置于手套箱底部與手套箱對(duì)接；
可視化的操作界面，實(shí)時(shí)顯示系統(tǒng)各部分運(yùn)行狀態(tài)，可方便的調(diào)節(jié)溫度、流量、脈沖時(shí)間等參數(shù)，編輯并保存配方參數(shù)；
多用戶權(quán)限分配，軟硬件互鎖，異常報(bào)警、緊急停機(jī)等功能確保安全性；
沉積模式可設(shè)為連續(xù)模式或停流模式；
外置移動(dòng)支架顯示器操作。

技術(shù)參數(shù)
電源		三相五線制AC380V±10%，頻率50Hz/60Hz，功率約12KW
反應(yīng)腔體	腔室	外熱式單腔腔室
	樣品尺寸	最大100mm*100mm方片及以下尺寸
	反應(yīng)溫度	最高150℃
前驅(qū)體源系統(tǒng)	金屬源	2路標(biāo)準(zhǔn)加熱前驅(qū)體源配置Swagelok高溫快速ALD閥（響應(yīng)時(shí)間＜10ms）、手動(dòng)隔膜閥和50mL不銹鋼源瓶源瓶及管路加熱溫度室溫至200℃
	水源	1路水源配置Swagelok高溫快速ALD閥（響應(yīng)時(shí)間＜10ms）、手動(dòng)球閥和50mL不銹鋼源瓶
	載氣系統(tǒng)	2路載氣系統(tǒng) 全套管路+VCR密封，前驅(qū)體源管路具有在線清洗功能
真空系統(tǒng)	極限真空	小于5×10^-3Torr
	真空漏率	小于5×10^-7Pa·L/s
	真空泵抽速	40m3/h
	其他配置	真空泵前級(jí)配置熱阱，加熱溫度最高600℃,控制精度±1℃,用于吸附、分解未反應(yīng)的前驅(qū)體源
	真空計(jì)	真空計(jì)前設(shè)有保護(hù)真空計(jì)的高效過(guò)濾網(wǎng)，沉積過(guò)程中可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)顯示腔室壓力的變化
主機(jī)		PLC+4U工控機(jī)+顯示器

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