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GSL-1800X-ZF6 高真空鈣鈦礦手套箱蒸鍍系統(tǒng)

應(yīng)用范圍： GSL-1800X-ZF6 高真空鈣鈦礦手套箱蒸鍍系統(tǒng)是一種利用電阻加熱使膜材汽化蒸發(fā)后凝結(jié)在基片上成膜的加熱鍍膜方法，該方法結(jié)構(gòu)簡單、實用，使用可靠，適用于制備金屬單質(zhì)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等等，可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作，也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗工作。

該鈣鈦礦蒸鍍系統(tǒng)配備6 組蒸發(fā)源，可蒸鍍切換最多6 種材料，也可同時共蒸2 種材料如：Cu、Ag、PbI₂、CsBr 等材料；設(shè)備可與手套箱對接方便在手套箱中操作，采用前滑動開門結(jié)構(gòu)。該系列設(shè)備廣泛應(yīng)用于高校、科研院所的教學(xué)、科研實驗以及生產(chǎn)型企業(yè)前期探索性實驗及開發(fā)新產(chǎn)品等。

適用范圍：鈣鈦礦材料、二維材料、光伏太陽能電池的器件制備等。

產(chǎn)品型號：GSL-1800X-ZF6

上架時間：2024-07-17

版本號：V1.0

A^-A⁺

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       GSL-1800X-ZF6 高真空鈣鈦礦手套箱蒸鍍系統(tǒng)是一種利用電阻加熱使膜材汽化蒸發(fā)后凝結(jié)在基片上成膜的加熱鍍膜方法，該方法結(jié)構(gòu)簡單、實用，使用可靠，適用于制備金屬單質(zhì)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等等，可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作，也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗工作。
       該鈣鈦礦蒸鍍系統(tǒng)配備6 組蒸發(fā)源，可蒸鍍切換最多6 種材料，也可同時共蒸2 種材料如：Cu、Ag、PbI₂、CsBr 等材料；設(shè)備可與手套箱對接方便在手套箱中操作，采用前滑動開門結(jié)構(gòu)。該系列設(shè)備廣泛應(yīng)用于高校、科研院所的教學(xué)、科研實驗以及生產(chǎn)型企業(yè)前期探索性實驗及開發(fā)新產(chǎn)品等。
       適用范圍：鈣鈦礦材料、二維材料、光伏太陽能電池的器件制備等。

功能特點

GSL-1800X-ZF6 高真空鈣鈦礦手套箱蒸鍍系統(tǒng)主要由金屬蒸發(fā)沉積室，真空排氣系統(tǒng)，真空測量系統(tǒng)，有機蒸發(fā) 源，無機蒸發(fā)源，樣品臺系統(tǒng)，電控系統(tǒng)，配氣系統(tǒng)等部分組成
方便操作，制成的薄膜純度高、質(zhì)量好，膜厚可以準(zhǔn)確的控制，成膜速率快，效率高，用掩膜可以獲得清晰的圖形，薄膜的生長比較單純
恢復(fù)工作真空快，大氣至5×10^-4Pa≤15 分鐘

技術(shù)參數(shù)
真空部分	1、真空系統(tǒng)：采用中科科儀脂潤滑分子泵FF-200/1300 口徑，抽速：1300 L/S+飛躍VRD-16 機械泵真空系統(tǒng)，8 寸氣動擋板閥，真空測量：一個一低一高真空計（量程從大氣到3E-9torr），自動控制切換低真空、高真空測量；真空讀數(shù)輸入PLC，用于工藝控制；真空閥門：型號：DN40mm 擋板閥2 套；氣動主閥中科科儀DN200 1 套；真空密封：可拆靜密封采用氟橡膠圈密封；不常拆靜密封采用無氧銅密封。 2、真空極限：優(yōu)于2.0×10^-5Pa；漏率：優(yōu)于5×10^-8Pa*L/S（國家標(biāo)準(zhǔn)）；關(guān)機12 小時后，真空度≤5Pa；（手套箱干燥氮氣環(huán)境） 3、抽速：抽氣時間：大氣壓~5×10^-4Pa 小于20min；（手套箱干燥氮氣環(huán)境）
樣品臺	1、抽屜式結(jié)構(gòu)，承載最大150*150mm 樣品，配氣動基片擋板。 2、基片與蒸發(fā)源距離電動可調(diào)，電動升降調(diào)節(jié)最大距離60mm 可調(diào)。 3、樣品臺可旋轉(zhuǎn)，帶水冷功能：樣品臺旋轉(zhuǎn)速度，0～30 轉(zhuǎn)／分連續(xù)可調(diào)。
蒸發(fā)源及電源	1、設(shè)備配2 組舟式蒸發(fā)源，金屬源采用水冷銅電極+蒸發(fā)舟結(jié)構(gòu)(最高溫度1500 度）；配備2.4KW 蒸發(fā)電源1 套，蒸發(fā)源電源具有恒流和恒壓二種驅(qū)動驅(qū)動模式，二者可切換。蒸發(fā)電源可以通過軟件控制，也可以手動控制。蒸發(fā)電源還可以通過膜厚儀PID（閉環(huán)控制），自動調(diào)節(jié)蒸發(fā)速率。帶數(shù)顯。 2、配備4 套有機蒸發(fā)束源爐，4 臺20-10 有機蒸發(fā)電源，有機蒸發(fā)源帶溫度顯示功能，有機束源爐用日本導(dǎo)電溫控儀；配套4 組坩堝，加熱溫度：0-700 攝氏度；角度可調(diào)范圍：0-15 度
膜厚控制系統(tǒng)	1、電源：DC 5V（±10%），最大電流400mA 2、頻率分辨率：±0.03Hz 3、膜厚分辨率：0.0136?（鋁） 4、膜厚準(zhǔn)確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置，材料應(yīng)力，溫度和密度 5、測量速度：100ms-1s/次，可設(shè)置 6、測量范圍：500000?（鋁）
手套箱參數(shù)	一、箱體 1.一個不銹鋼箱體，尺寸為2440mm（長）X780mm（寬）X900mm（高）箱體分兩節(jié)中間法蘭連接，背面預(yù)留法蘭接口和鍍膜機對接（鍍膜機有客戶提供，法蘭口尺寸),材質(zhì)為SUS304 不銹鋼，厚度3mm 2.上掀式可拆卸的安全玻璃視窗，傾斜設(shè)計的操作面，鋼化玻璃厚度 10mm 3.4 只丁基橡膠手套 4.預(yù)留有10 個KF40 標(biāo)準(zhǔn)接口 5.配置有雙層不銹鋼擱物架 6.安全閥，保護設(shè)備和手套箱內(nèi)材料 7.鋼結(jié)構(gòu)支架，高914mm，安裝有萬向腳輪二、過渡艙 1.一個大過渡倉 1)材質(zhì)：SUS304 不銹鋼 2)尺寸：Φ360X600mm 3)位置：箱體右側(cè) 4)連接方式：密封法蘭連接 5)傳送方式：通過移動托盤，托盤易拆卸，方便轉(zhuǎn)移體積大的物料 6)操作方式 a)手動操作：通過觸摸屏點觸閥門 b)自動操作：具有自動抽氣和充氣功能，用戶只需在觸摸屏上點觸啟動按鍵，PLC 自動完成多次抽充程序，規(guī)范操作，節(jié)省時間，提高工作效率。用戶可以設(shè)定抽充次數(shù)，每次抽氣時間和充氣壓力。 2.兩個小過渡倉 1)材質(zhì)：SUS304 不銹鋼 2)尺寸：Φ155X320mm 3)位置：箱體右側(cè)和左側(cè) 4)連接方式：密封法蘭連接 5)傳送方式：通過移動托盤 6)操作方式：通過三通球閥手動操作三、氣體純化化系統(tǒng) 1.一個氣體純化柱： 1)選擇了最適合手套箱氣體凈化的高性能的銅催化劑和分子篩，用于除水和除氧 2)氧氣和水的吸附量分別為60升和2公斤 2.氣體純化柱吸附飽和后，用含氫的氮氣或氬氣再生，恢復(fù)其吸附能力 1)用氫氣/氮氣混合氣作為再生氣。H2：5%； N2:95% 2)由于手套箱的超低泄漏率，凈化柱的再生頻率約為每年一次 3.一個循環(huán)風(fēng)機 1)流量90m³/h 4.有機溶劑吸附柱 1)含活性炭顆粒吸附材料 5.電氣動控制的循環(huán)主閥，KF40 標(biāo)準(zhǔn)接口 6.所有氣路都由電磁閥控制，凈化柱再生完全實現(xiàn)自動控制 7.循環(huán)系統(tǒng)的進出口裝有氣體過濾器四、控制系統(tǒng) 1.控制系統(tǒng)進口的PLC 和7”彩色觸摸屏組成，中英文操作界面 2.實現(xiàn)以下控制功能 1)自動控制箱體壓力 a)用戶可以在+10 至-10 毫巴之間任意設(shè)定工作壓力區(qū)間，PLC 將自動調(diào)控箱體壓力在設(shè)定范圍內(nèi)。工作壓力區(qū)間的默認值為0 至+5 毫巴 b)箱壓大于12 毫巴時，PLC 自動開啟安全閥泄壓，保護手套、設(shè)備和箱體內(nèi)的材料 c)使用腳踏開關(guān)，對箱壓進行微調(diào) 2)單鍵實現(xiàn)過渡艙多次抽充氣操作，節(jié)省時間 a)用戶可以設(shè)定抽充次數(shù)、每次抽氣時間和充氣壓力，然后啟動自動抽充程序，在設(shè)定的時間內(nèi)自動完成抽充 3)可以手動監(jiān)測泄漏率 a)設(shè)定手動檢測：只需按下啟動檢測按鈕，PLC 自動對箱體的密封性進行檢測并報告箱體的泄漏率 4)箱內(nèi)氣體自動清洗功能 a)用戶設(shè)定清洗時間，再觸摸屏上點觸啟動按鍵，系統(tǒng)將開始清洗箱體，到設(shè)定的時間是自動停止 5)系統(tǒng)歷史數(shù)據(jù)自動記錄和顯示，也可以用U 盤導(dǎo)出在特定時間內(nèi)的數(shù)據(jù)，如箱壓、水含量和氧含量 6)顯示操作錯誤和提示 7)箱體氣氛自動報警 8)所有操作均有預(yù)設(shè)條件，動作互鎖，避免不安全操作損壞設(shè)備或破壞箱體內(nèi)的氣氛五、技術(shù)指標(biāo) 1．泄露率﹤0.02vol%/h 2． H₂O﹤1ppm ，O₂﹤1ppm 六、其它附件 1.一臺氧分析儀 1、測量范圍可設(shè)：0-1000ppm 2、精度：量程的1% 或0.2ppm 3、安裝位置：科晶的氧傳感器安裝在箱體上，無論氣體循環(huán)與否，氧傳感器不間斷地檢測箱體內(nèi)氣氛，顯示手套箱內(nèi)的氧含量 4、傳感器：氧化鋯電池，其優(yōu)點是零點準(zhǔn)確、漂移小 5、顯示：分析儀的輸出連接到PLC，檢測數(shù)值在觸摸屏上顯示，可以設(shè)定報警值 6、控制：科晶采用實時監(jiān)測功能，時刻保證并快速凈化氧，用最快的時間保證客戶設(shè)定的氧含量標(biāo)定值 7、標(biāo)定方法：準(zhǔn)確檢測手套箱內(nèi)的氧氣含量示至關(guān)重要的，科晶還向提供用戶分析儀的標(biāo)定方法，使得分析儀能準(zhǔn)確檢測手套箱內(nèi)的雜質(zhì)濃度，避免錯誤的讀數(shù)對實驗結(jié)果造成影響，浪費用戶的寶貴時間和材料 2．1 臺水分析儀 1)測量范圍：20℃到-100℃（露點） 2)精度：2℃ 3)顯示：分析儀的輸出連接到PLC，檢測數(shù)值在觸摸屏上顯示，可以設(shè)定報警值 4)控制：與氧分析儀一樣，可以根據(jù)用戶的設(shè)定對氣體循環(huán)系統(tǒng)進行自動控制，實現(xiàn)自動循環(huán) 4.箱內(nèi)電源接口，配有多孔插座 5.真空通閥1 根七、驗收方法使用99.999%的惰性氣源，空箱運轉(zhuǎn)，箱內(nèi)水氧含量均小于1PPM

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