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SP-50KT/SP-85KTC 溫控型真空感應(yīng)熔煉爐系列

應(yīng)用范圍：溫控型感應(yīng)加熱/熔煉系統(tǒng)，帶進(jìn)料前級系統(tǒng)和熔煉攪拌裝置。石英前級腔室可將各種原材料導(dǎo)入到熔煉坩堝內(nèi)，而不影響主腔室的環(huán)境。

產(chǎn)品型號：SP-50KT/SP-85KTC

上架時間：2019-07-25

安裝尺寸：700（L）* 1300（W）* 1200（H）

重量：100Kg

A^-A⁺

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溫控型感應(yīng)加熱/熔煉系統(tǒng)，帶進(jìn)料前級系統(tǒng)和熔煉攪拌裝置。石英前級腔室可將各種原材料導(dǎo)入到熔煉坩堝內(nèi)，而不影響主腔室的環(huán)境。

性能指標(biāo)和基本配置
型號	SP-50KT	SP-85KTC
感應(yīng)電源	● 工作電壓：380V，50Hz，三相 ● 空氣開關(guān)：需要100A空氣開關(guān) ● 最大輸入功率: 15KW ● 輸出頻率:30-80kHz ● 保護(hù)系統(tǒng)：帶有自動水壓、過熱、功率過高保護(hù)
溫控系統(tǒng)和熱電偶	● 精密數(shù)顯溫控系統(tǒng)，采用PID調(diào)節(jié)方式 ● 可設(shè)置30段升降溫程序 ● 帶有過熱和斷偶保護(hù) ● 控溫精度：±5 oC ● 熱電偶: C 型熱電偶 (Φ6.35x400mmL ) ● 連續(xù)工作溫度.: 1000oC~1900oC ● 最高溫度：2000oC（<30min） ● 升溫速率: 1度/秒 1000-1200oC； 1度/2秒 1200oC-1500oC ； 1度/4秒 1500oC-2000oC
石墨坩堝，耐火材料和防護(hù)罩
	● ·高純石墨坩堝:50mm(內(nèi)徑) * 40mm(外徑) *110mm（深）,坩堝是用來感應(yīng)加熱和熔化金屬	● 高純石墨坩堝:114mm（內(nèi)徑） * 100mm（外徑） *142mm（深），坩堝是用來感應(yīng)加熱和熔化金屬
	● 最大容量：樣品所占容積應(yīng)該是石墨坩堝容積的1/2	● 最大容量：樣品所占容積應(yīng)該是石墨坩堝容積的1/2
	● 可熔煉物料的質(zhì)量：最多0.6Kg（按純鐵的密度計算）	● 可熔煉物料的質(zhì)量：最多4Kg（按純鐵的密度計算）
	● 可選:為對晶片熱處理，可定制石墨樣品臺，最大可放置晶片尺寸為1.5''O.D * 1/8''T，因為石墨導(dǎo)熱率非常高，所以可使放置的晶片受熱均勻
	● 保溫層：石墨坩堝外環(huán)繞三層隔熱材料，從里到外分別為石墨氈—氧化鋁—高溫氈，總厚度為32mm，石墨保溫毯（可耐溫2200℃）氧化鋁毯（耐溫1700℃）	● 保溫層：石墨坩堝外環(huán)繞三層隔熱材料，從里到外分別為石墨氈—氧化鋁—高溫氈，總厚度為32mm，石墨保溫毯（可耐溫2200℃）氧化鋁毯（耐溫1700℃）
	● 注意: 石墨坩堝是易耗件	● 注意: 石墨坩堝是易耗件
密封法蘭和石英腔體
	● 兩端開口的石英管尺寸：130mm(OD) * 122mm(ID) * 360mm(L)	● 兩端開口的石英管尺寸： 216?mm(OD)??208?mm(ID)??500mm(L)
	● 頂部法蘭: 采用不銹鋼鉸鏈法蘭，帶有一1/4”的鎧裝接口（可插入熱電偶到石英管內(nèi)部更準(zhǔn)確地測量樣品溫度）法蘭上安裝有不銹鋼截止閥	● 頂部法蘭:采用不銹鋼折疊式法蘭，帶有一1/4”的鎧裝接口（可插入熱電偶到石英管內(nèi)部更準(zhǔn)確地測量樣品溫度）法蘭上安裝有不銹鋼截止閥
	● 底部法蘭:底部法蘭接口為KF25接口，可通過波紋管與真空泵相連接	● 底部法蘭:底部法蘭接口為KF25接口，可通過波紋管與真空泵相連接
	● 儀器中配有KF25擋板閥和KF25的波紋管，以便與真空泵相連接	● 儀器中配有KF25擋板閥和KF25的波紋管，以便與真空泵相連接
真空計	● 防腐真空計,測量范圍3.8*10E-5托 ● 一個輸出電壓24v、1A直流電源適配器。適配器的輸入電壓是單相110~240v。
浮子流量計	緊湊型直讀浮子流量計，100-1000scc/min。精度:4%。
泄壓閥	為了安全考慮，在腔體內(nèi)安裝泄壓閥，當(dāng)壓力大于0.02MPa時，閥門會自動釋放壓力，保證安全。
循環(huán)水冷機(jī)（選配）	● 溫度范圍：5～30℃ ● 水流量：16L/min ● 水箱：不銹鋼材質(zhì)，容積為12L 注意：建議使用特定的冷卻液以獲得最佳性能。在幾次加熱試驗后，等待幾分鐘冷卻屬于正?，F(xiàn)象
真空泵（選配）	● 標(biāo)配一個2.2L/s的雙級旋葉片真空泵 ● 電壓：AC 208-240V 50Hz,單相 ● 最大功率：0.4KW 另有多種真空泵，詳情請點擊下圖選擇
產(chǎn)品尺寸	整體機(jī)器外形尺寸：700（L）* 1300（W）* 1200（H）
凈重	100Kg
應(yīng)用	● PVT(物理蒸氣運輸)系統(tǒng)通過改變一個合適的坩堝，使其能夠成為生長長型碳化硅晶體，請點擊下面的圖片或問我們的工程師如何 ● 此設(shè)備可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD）系統(tǒng)，請點擊下面的圖片查看，如您有任何特殊需求可聯(lián)系我們
注意事項	● 為了保護(hù)石墨坩堝和C熱電偶，在整個實驗過程必須在流動惰性氣氛環(huán)境中進(jìn)行。氣體流量應(yīng)限制在< 200SCCM ● C型熱電偶是耗材，不在我們的保修范圍內(nèi) ● 熔融時間和溫度與材料、坩堝、耐火材料絕緣等有關(guān)。如果你不知道感應(yīng)加熱器是否能熔化你的樣品，請聯(lián)系我們的工程師咨詢 ● 感應(yīng)熔融系統(tǒng)的設(shè)計是在真空和低壓下使用< 0.02 Mpa / 0.2 Bar/ 3psi ● 必須在氣缸上安裝減壓閥，將壓力限制在3psi以下，以保證安全運行。 ● 當(dāng)出氣口關(guān)閉，爐腔內(nèi)存在正壓狀態(tài)時，不要加熱爐子。在加熱過程中，必須使用壓力表來密切監(jiān)測室內(nèi)情況;一旦燃燒室壓力超過3psi，請立即打開氣體釋放閥門，以防止不可預(yù)見的損壞
認(rèn)證	如果客戶需要通過MET認(rèn)證，需自行支付認(rèn)證費用，具體價格請聯(lián)系我們的銷售代表認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)包括:1感應(yīng)加熱器:UL61010-1 & UL499;2真空泵:UL1450;3冷水機(jī)組:UL61010 & UL1995
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點擊查看售后服務(wù)承諾書。

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