RTP-1000-F3LV 快速升溫CVD系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV是專為半導(dǎo)體基片、太陽能電池及其它樣品（尺寸可達(dá)3″ ）的退火而設(shè)計(jì)，配有3路流量計(jì)和機(jī)械泵。本機(jī)采用 9KW的紅外燈進(jìn)行加熱，最快升溫速度可達(dá) 100℃/s，配有RS485 接口，可以通過控制軟件在計(jì)算機(jī)上控制運(yùn)行并顯示溫度曲線。

產(chǎn)品型號：RTP-1000-F3LV

上架時間：2020-04-16

爐體尺寸：760mm×330mm×530mm

爐體重量：45kg

A^-A⁺

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快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV是專為半導(dǎo)體基片、太陽能電池及其它樣品（尺寸可達(dá)3″ ）的退火而設(shè)計(jì)，配有3路流量計(jì)和機(jī)械泵。本機(jī)采用 9KW的紅外燈進(jìn)行加熱，最快升溫速度可達(dá) 100℃/s，配有RS485 接口，可以通過控制軟件在計(jì)算機(jī)上控制運(yùn)行并顯示溫度曲線。

功能特點(diǎn)

雙層Al2O3纖維鋼構(gòu)，無需水冷或風(fēng)冷。
內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。
PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序，并設(shè)有過熱保護(hù)和斷偶功能。
已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水	不需要
電	AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣	設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源
工作臺	尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上
通風(fēng)裝置	需要
電源	單相208V-240V AC 50/60Hz 9KW
石英管	外徑?110mm，內(nèi)徑?103mm，長380mm
加熱元件	紅外燈管，直徑?10mm，長300mm
加熱區(qū)	300mm
工作溫度	最高溫度1100℃
控溫精度	±0.5℃
最高升溫速度	RT-800℃時為50℃/s，800℃-1000℃時為10℃/s
溫控儀	可控硅（SCR）PID自動控制
真空法蘭	不銹鋼，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫O型圈密封，長時間在>900℃條件下運(yùn)行必須采用水冷，循環(huán)水流量為0.5m3/hr
真空度	10-3torr
流量計(jì)	3個，量程40cc/min-400cc/min，精度4%FS
爐體尺寸	760mm×330mm×530mm
爐體重量	45kg
真空混氣系統(tǒng)尺寸	600mm×600mm×597mm
真空混氣系統(tǒng)重量	30kg
可選配件	防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)

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