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OTF-1200X-F3LV 開(kāi)啟式單溫區(qū)低真空CVD系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：開(kāi)啟式單溫區(qū)低真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-F3LV是由開(kāi)啟式單溫區(qū)管式爐、機(jī)械泵、三通道浮子混氣系統(tǒng)組成，可為CVD或擴(kuò)散實(shí)驗(yàn)提供1-3種的混合氣體，真空度可達(dá)10-2torr。

產(chǎn)品型號(hào)：OTF-1200X-F3LV

上架時(shí)間：2020-04-16

重量：60kg

A^-A⁺

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開(kāi)啟式單溫區(qū)低真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-F3LV是由開(kāi)啟式單溫區(qū)管式爐、機(jī)械泵、三通道浮子混氣系統(tǒng)組成，可為CVD或擴(kuò)散實(shí)驗(yàn)提供1-3種的混合氣體，真空度可達(dá)10-2torr。

功能特點(diǎn)

雙層殼體，配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體溫度<60℃。
內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，同時(shí)延長(zhǎng)使用壽命。
采用PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序。
設(shè)有超溫及斷偶報(bào)警功能。
已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水	不需要。
電	AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣	設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源
工作臺(tái)	尺寸600mm×600mm×700mm，承重150kg以上
通風(fēng)裝置	需要
電源	AC 220V 50/60Hz 2.5KW
石英管	外徑?80mm，內(nèi)徑?75mm，長(zhǎng)1000mm
加熱元件	摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲
加熱區(qū)域	440mm
恒溫區(qū)域	150mm
工作溫度	最高1200℃，連續(xù)工作1100℃
最大升降溫速率	20℃/min
控溫精度	±1℃
真空度	5.5×10-3torr（機(jī)械泵），10-4torr（分子泵）
泄漏率	<5mtorr/min
浮子流量計(jì)	3個(gè)；10ml/min-100ml/min，16ml/min-160ml/min，25ml/min-250ml/min
壓力表	4個(gè)
管式爐尺寸	550mm×380mm×520mm
混氣系統(tǒng)尺寸	600mm×600mm×597mm
重量	60kg

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