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OTF-1200X-4-RTP-C3HV 高真空快速CVD系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV是由4″RTP爐、三通道混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成，可進(jìn)行半導(dǎo)體基片、太陽(yáng)能電池及其它樣品（尺寸可達(dá)3″ ）的退火，并采用 10KW的紅外燈進(jìn)行加熱，最快升溫速度可達(dá) 120℃/s，配有RS485 接口，可以通過(guò)控制軟件在計(jì)算機(jī)上控制運(yùn)行并顯示溫度曲線。

產(chǎn)品型號(hào)：OTF-1200X-4-RTP-C3HV

上架時(shí)間：2020-04-16

A^-A⁺

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高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV是由4″RTP爐、三通道混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成，可進(jìn)行半導(dǎo)體基片、太陽(yáng)能電池及其它樣品（尺寸可達(dá)3″ ）的退火，并采用 10KW的紅外燈進(jìn)行加熱，最快升溫速度可達(dá) 120℃/s，配有RS485 接口，可以通過(guò)控制軟件在計(jì)算機(jī)上控制運(yùn)行并顯示溫度曲線。

功能特點(diǎn)

雙層Al2O3纖維鋼構(gòu)，無(wú)需水冷或風(fēng)冷。
內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備的加熱效率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命。
PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序，并設(shè)有過(guò)熱保護(hù)和斷偶功能。
已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水	不需要。
電	AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣	設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源
工作臺(tái)	尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上
通風(fēng)裝置	需要
電源	單相208V-240V AC 50Hz/60Hz 10KW
石英管	外徑?110mm，內(nèi)徑?103mm，長(zhǎng)380mm
加熱元件	8根紅外燈管，燈絲長(zhǎng)200mm，絲圈?10mm，燈長(zhǎng)300mm
加熱區(qū)	300mm
工作溫度	最高溫度1100℃
控溫精度	±0.5℃
最高升溫速度	RT-800℃時(shí)為50℃/s，800℃-1000℃時(shí)為10℃/s
溫控儀	可控硅（SCR）PID自動(dòng)控制
溫控儀	可控硅（SCR）PID自動(dòng)控制
真空法蘭	不銹鋼，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫O型圈密封，長(zhǎng)時(shí)間在>900℃條件下運(yùn)行必須采用水冷，循環(huán)水流量為0.5m3/hr
真空度	10-2torr（機(jī)械泵），10-5torr（分子泵）
質(zhì)量流量計(jì)	3個(gè)，MFC1范圍0-100sccm，MFC2范圍0-200sccm，MFC3范圍0-500sccm，精度1±%FS
混氣罐	?80mm×120mm
爐體尺寸	760mm×330mm×530mm
爐體重量	45kg
真空混氣系統(tǒng)尺寸	600mm×600mm×597mm
真空混氣系統(tǒng)重量	75kg

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