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OTF-1200X-80-III-F3LV 1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

應用范圍:OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機械泵,它是由管式爐,三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成,其真空度可達到 10-2 torr。 

產品型號 :OTF-1200X-80-III-F3LV 

上架時間 :2019-06-28 

重量 :約 90 Kg

產品簡述 產品詳情 產品視頻 留言咨詢

       OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機械泵,它是由管式爐,三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成,其真空度可達到 10-2 torr。

 性能指標和基本配置
爐體結構

● 雙層殼體結構并帶有風冷,使得殼體的表面溫度小于60度
● 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,可以減少熱量的損失,環(huán)保節(jié)能
● 內爐膛表面涂有美國進口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命
● 可開啟式,更換爐管方便

功率

5 KW

電壓

AC 208-240V單相, 50/60 Hz

加熱元件

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

最高工作溫度

1200℃

連續(xù)工作溫度

1100℃

最大加熱速率

≤20  ℃/min

石英管& 密封法蘭 ● 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器內
● 儀器上已經安裝有不銹鋼真空密封法蘭,壓力表和閥門(點擊下面的圖片查看詳細的信息)
1
加熱區(qū)長度 ● 三個溫區(qū)長度: (880mm, 35" in total)
● 溫區(qū) 1: 220mm  (8.6" )
●  溫區(qū) 2: 440mm  (17.3")
●  溫區(qū) 3: 220 mm (8.6")
注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結果可能會有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據,請與我公司銷售人員聯(lián)系
溫控系統(tǒng)

● 三個精密溫度控制器,可獨立控溫
● PID控制方式,通過PWM固體繼電器。
● 30段可編程智能溫度調節(jié)儀,并可設置30段升降溫程序.
● 帶有過熱和斷偶保護功能

控溫精度

+/- 1℃

真空密封系統(tǒng)

● 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥).
● 通過機械泵真空度可以達到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用機械泵和分子泵,真空度可以達到10-4 torr.
● 漏氣率 < 5 m-torr / min
1

真空泵

采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有進口的油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產生的油煙,減少泵油的損耗,保護環(huán)境和人體健康,過濾的最小微粒直徑為0.3微米
1

數(shù)字式真空顯示計

可選:本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉換
1

氣體流量計和壓力表

● 三個浮子流量計,能夠檢測到氣體的流
● 三路浮子量程分別為
● 10-100 cc/min.
● 16-160 cc/min.
● 25-250 cc/min
● 內部安裝有一混氣罐
● 有一壓力表安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側面上,可以檢測氣體壓力及混合槽的壓力

閥門

四個不銹鋼閥門安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側面上,用于控制氣體的流量

外形尺寸

● 爐子: 1100 X 450 x 670mm
● 底部移動架: 600x600x597mm

開門斷電

為保證使用安全,該電爐為開門斷電設計
1 1

凈重

約 90 Kg

運輸重量

245 lbs

應用注意事項 ●爐管內氣壓不可高于0.02MPa
●由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
●當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)
●進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
●石英管的長時間使用溫度<1100℃ 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)
質量認證 1CE certified
保修期 一年保修,終身技術支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。
點擊查看售后服務承諾書。
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