應用范圍:OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機械泵,它是由管式爐,三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成,其真空度可達到 10-2 torr。
產品型號 :OTF-1200X-80-III-F3LV
上架時間 :2019-06-28
重量 :約 90 Kg
OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機械泵,它是由管式爐,三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成,其真空度可達到 10-2 torr。
性能指標和基本配置 | |
---|---|
爐體結構 |
● 雙層殼體結構并帶有風冷,使得殼體的表面溫度小于60度 |
功率 |
5 KW |
電壓 |
AC 208-240V單相, 50/60 Hz |
加熱元件 |
Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo |
最高工作溫度 |
1200℃ |
連續(xù)工作溫度 |
1100℃ |
最大加熱速率 |
≤20 ℃/min |
石英管& 密封法蘭 |
● 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器內 ● 儀器上已經安裝有不銹鋼真空密封法蘭,壓力表和閥門(點擊下面的圖片查看詳細的信息) |
加熱區(qū)長度 |
● 三個溫區(qū)長度: (880mm, 35" in total) ● 溫區(qū) 1: 220mm (8.6" ) ● 溫區(qū) 2: 440mm (17.3") ● 溫區(qū) 3: 220 mm (8.6") 注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結果可能會有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據,請與我公司銷售人員聯(lián)系 |
溫控系統(tǒng) |
● 三個精密溫度控制器,可獨立控溫 |
控溫精度 |
+/- 1℃ |
真空密封系統(tǒng) |
● 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥). |
真空泵 |
采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有進口的油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產生的油煙,減少泵油的損耗,保護環(huán)境和人體健康,過濾的最小微粒直徑為0.3微米 |
數(shù)字式真空顯示計 |
可選:本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉換 |
氣體流量計和壓力表 |
● 三個浮子流量計,能夠檢測到氣體的流 |
閥門 |
四個不銹鋼閥門安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側面上,用于控制氣體的流量 |
外形尺寸 |
● 爐子: 1100 X 450 x 670mm |
開門斷電 | |
凈重 |
約 90 Kg |
運輸重量 |
245 lbs |
應用注意事項 |
●爐管內氣壓不可高于0.02MPa ●由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ●當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài) ●進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ●石英管的長時間使用溫度<1100℃ 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |
質量認證 | CE certified |
保修期 |
一年保修,終身技術支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 點擊查看售后服務承諾書。 |
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