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OTF-1200X-80-I-F3LV 1200℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其管徑為80mm，采用機(jī)械泵，供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng)，其真空度可達(dá)到 10-2 torr.

產(chǎn)品型號：OTF-1200X-80-I-F3LV

上架時(shí)間：2019-07-01

安裝尺寸：爐體: 550 x 380 x 520mm

混氣系統(tǒng): 600x600x597 mm

重量：約60kg

A^-A⁺

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OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其管徑為80mm，采用機(jī)械泵，供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng)，其真空度可達(dá)到 10-2 torr.

性能指標(biāo)和基本配置
高溫爐殼體	● 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于55℃ ● 內(nèi)爐膛表面涂有1750℃進(jìn)口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度
功率	2.5 KW
電壓	AC 208-240V 單相, 50/60 Hz
最高工作溫度	1200℃
連續(xù)工作溫度	1100℃
最快升溫速率	≤20 ℃
爐管材質(zhì)和尺寸	石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm
加熱元件	摻鉬鐵鉻鋁合金（表面涂有氧化鋯涂層，使其最大程度延長使用壽命）
加熱區(qū)長度	400 mm
控溫系統(tǒng)	PID30段程序化控溫
控溫精度	+/- 1 ℃
真空密封系統(tǒng)	● 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計(jì)和截止閥），最大漏氣率6 mtorr/min
真空泵	● 采用雙旋機(jī)械泵，機(jī)械泵上安裝有油污過濾器，可以過濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙，減少泵油的損耗，保護(hù)環(huán)境和人體健康，過濾的最小微粒直徑為0.3微米。
防腐型真空計(jì)	● 本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹）
混氣系統(tǒng)	● 三個浮子流量計(jì) ● 三路浮子量程分別為 ● 10-100 cc/min. ● 16-160 cc/min. ● 25-250 cc/min ● 內(nèi)部安裝有一混氣罐
產(chǎn)品凈重	約60kg
運(yùn)輸重量	200kg
外形尺寸	● 爐體:550 x 380 x 520mm ● 混氣系統(tǒng): 600x600x597 mm
開門斷電	● 為保證使用安全，該電爐為開門斷電設(shè)計(jì)
應(yīng)用注意事項(xiàng)	●爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ●由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會更加精確安全 ●當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) ●進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ●石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃ ●對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
質(zhì)量認(rèn)證	CE Certificate
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

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