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OTF-1200X-S50-2F 1200℃微型二通道混氣CVD系統(tǒng)

應(yīng)用范圍：OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式爐，是一款通過CE認(rèn)證的可開啟式管式爐，能使樣品加熱到1200℃。左法蘭上安裝一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)，右法蘭上安裝有一KF-25接口，可以與機(jī)械泵相連接（抽速為226L/m）。同時(shí)左法蘭上安裝有φ6.35的卡套接頭，使得爐體可與兩路混氣系統(tǒng)相連接。精確的控溫系統(tǒng)提供30段升溫和降溫程序，其控溫精確度為+/- 1 ℃ 。

產(chǎn)品型號：OTF-1200X-S50-2F

上架時(shí)間：2019-06-28

安裝尺寸：爐體:340 x 300 x 400mm

真空泵:440 x 160 x 300mm

混氣系統(tǒng): 340 x 300 x 180mm

重量：100 lbs

A^-A⁺

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OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式爐，是一款通過CE認(rèn)證的可開啟式管式爐，能使樣品加熱到1200℃。左法蘭上安裝一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)，右法蘭上安裝有一KF-25接口，可以與機(jī)械泵相連接（抽速為226L/m）。同時(shí)左法蘭上安裝有φ6.35的卡套接頭，使得爐體可與兩路混氣系統(tǒng)相連接。精確的控溫系統(tǒng)提供30段升溫和降溫程序，其控溫精確度為+/- 1 ℃ 。

性能指標(biāo)和基本配置
爐體結(jié)構(gòu)	● 采用雙層殼體 ● 爐膛采用多晶氧化鋁纖維，最大程度減小能量損失 ● 內(nèi)爐膛表面涂有1750℃進(jìn)口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度
功率	1.75KW
電壓	AC -220V
溫度	● 最高工作溫度：1200℃（< 1hr） ● 連續(xù)工作溫度1100 ℃ ● 升溫速率 <= 10C/min
爐管	石英管50 x 43 x 450mm (O.D x I.D x Length)
加熱區(qū)	加熱區(qū)長度: 8" (200mm)
溫控系統(tǒng)	● PID30段程序化控溫 ● 控溫精度: +/- 1℃
加熱元件	摻鉬鐵鉻鋁（表面涂有氧化鋯涂層，使其最大程度延長使用壽命）
兩路混氣系統(tǒng)	● 兩個(gè)浮子流量計(jì)量程為16 —100mL/min ● -0.1-0.15 MPa, (0.01 MPa/grit) ● 三個(gè)機(jī)械壓力表：-0.1-0.15 MP ● 混氣箱上安裝有一不銹鋼針閥 ● 后端裝有φ6.35卡套接頭，無需通電 ● 外型尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm ( 13.4"x12"x7"). ● 凈重: 14 lbs
真空法蘭和配件	結(jié)構(gòu) 標(biāo)準(zhǔn)真空配件: ● 一個(gè)防腐型真空計(jì) ● 一個(gè)φ6.35的卡套接頭 ● 兩個(gè)KF25轉(zhuǎn)接頭 ● 一個(gè)600mm的不銹鋼波紋管
防腐型真空計(jì)	本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹）
真空泵	我公司有多種真空泵可選，請點(diǎn)擊圖片，或是致電我公司銷售
產(chǎn)品凈重	100 lbs
運(yùn)輸重量	200 lbs
外形尺寸	● 爐體:340 x 300 x 400mm ● 真空泵:440 x 160 x 300mm ● 混氣系統(tǒng): 340 x 300 x 180mm.
開門斷電	為保證使用安全，該電爐為開門斷電設(shè)計(jì)
應(yīng)用注意事項(xiàng)	● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ● 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全 ● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài) ● 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ● 石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃ ● 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，● 以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
質(zhì)量認(rèn)證	所有電器元件（>24V）都通過UL?/?MET?/?CSA認(rèn)證/CE認(rèn)證若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
保修期	一年保修，終身技術(shù)支持。特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

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