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小巨人
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GSL-1700X-F3LV 1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

應(yīng)用范圍:GSL-1700X-F3LV是一款CE認證的管式爐CVD系統(tǒng),其真空泵采用雙旋片式,混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng),最高溫度可以達到1700°C,真空度可達到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。 

產(chǎn)品型號 :GSL-1700X-F3LV 

上架時間 :2019-06-28 

安裝尺寸:爐體:550 x 500 x 700mm L x W x H 

                 混氣系統(tǒng):: 600 x 600 x 700mm 

                 真空機組: 600 x 600 x 700mm

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       GSL-1700X-F3LV是一款CE認證的管式爐CVD系統(tǒng),其真空泵采用雙旋片式,混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng),最高溫度可以達到1700°C,真空度可達到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。

 性能指標和基本配置
爐體結(jié)構(gòu)

●采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有分冷,使得殼體表面的溫度小于55°C.
●保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失
●內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

加熱元件

1800 grade MoSi2 ( 8根)

最高工作溫度

1700℃

最大升溫速率

5℃/min

最大降溫速率

5℃/min

加熱區(qū)長度

455mm (18")

溫控系統(tǒng)

●一個精密溫度控制器 PID方式控制,通過可控硅 SCR
●可設(shè)置30段升降溫程序.
●帶有過熱和斷偶保護

控溫精度

+/- 1℃

爐管材質(zhì)和尺寸

●99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管
●(標配)OD: 60 mm:ID: 50mm x1000 mm L
●(選配)OD: 80 mm:ID: 70mm x1000 mm L

密封法蘭

●兩個不銹鋼密封法蘭,法蘭上已經(jīng)安裝機械壓力表(圖片中的藍表為選配)和閥門
●通過機械泵真空壓力可以達到5x10-2 torr
●泄漏率最大6 mtorr/min

輸入電源

AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率:最大5KW

真空泵

一個雙旋片式機械泵安裝在移動架內(nèi)通過此機械泵真空度可以達到 5x10^-2 torr

配件

●標配的真空配件: 一對不銹鋼 密封法蘭和KF-25 真空泵接口,兩個不銹鋼針閥, 1/4"的軟管接頭
●一個1000mm長的KF-25 不銹鋼波紋管和四個KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍
●可選:本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。(點擊圖片查看詳細介紹)
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氣體流量計

● 3個浮子流量計安裝在一個移動架上,可以推動,可同時混入三種不同氣體。
● 第一路氣體流量范圍為10-100 cc/min.
● 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min.
● 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min.
● 一個壓力表安裝在移動加上,壓力表直接于移動架內(nèi)的混氣箱相連接 ,來監(jiān)測混合氣體的壓力
● 四個不銹鋼針閥安裝在前面板上
1 1 1

產(chǎn)品尺寸

● 外徑80 & 100mm 的氧化鋁陶瓷管
● 爐體尺寸:550 x 500 x 700mm L x W x H
● 混氣系統(tǒng):: 600 x 600 x 700mm 真空機組: 600 x 600 x 700mm

凈重

450 lb (總計)

運輸重量

500 lb (總計)

質(zhì)量認證 1CE certified
保修期 一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點擊查看售后服務(wù)承諾書。
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