應(yīng)用范圍:GSL-1700X-F3LV是一款CE認證的管式爐CVD系統(tǒng),其真空泵采用雙旋片式,混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng),最高溫度可以達到1700°C,真空度可達到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。
產(chǎn)品型號 :GSL-1700X-F3LV
上架時間 :2019-06-28
安裝尺寸:爐體:550 x 500 x 700mm L x W x H
混氣系統(tǒng):: 600 x 600 x 700mm
真空機組: 600 x 600 x 700mm
GSL-1700X-F3LV是一款CE認證的管式爐CVD系統(tǒng),其真空泵采用雙旋片式,混氣系統(tǒng)采用三路浮子供氣系統(tǒng),最高溫度可以達到1700°C,真空度可達到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。
性能指標和基本配置 | |
---|---|
爐體結(jié)構(gòu) |
●采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有分冷,使得殼體表面的溫度小于55°C. |
加熱元件 |
1800 grade MoSi2 ( 8根) |
最高工作溫度 |
1700℃ |
最大升溫速率 |
5℃/min |
最大降溫速率 |
5℃/min |
加熱區(qū)長度 |
455mm (18") |
溫控系統(tǒng) |
●一個精密溫度控制器 PID方式控制,通過可控硅 SCR |
控溫精度 |
+/- 1℃ |
爐管材質(zhì)和尺寸 |
●99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管 |
密封法蘭 |
●兩個不銹鋼密封法蘭,法蘭上已經(jīng)安裝機械壓力表(圖片中的藍表為選配)和閥門 |
輸入電源 |
AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率:最大5KW |
真空泵 |
一個雙旋片式機械泵安裝在移動架內(nèi)通過此機械泵真空度可以達到 5x10^-2 torr |
配件 |
●標配的真空配件: 一對不銹鋼 密封法蘭和KF-25 真空泵接口,兩個不銹鋼針閥, 1/4"的軟管接頭 |
氣體流量計 |
● 3個浮子流量計安裝在一個移動架上,可以推動,可同時混入三種不同氣體。 |
產(chǎn)品尺寸 |
● 外徑80 & 100mm 的氧化鋁陶瓷管 |
凈重 |
450 lb (總計) |
運輸重量 |
500 lb (總計) |
質(zhì)量認證 | CE certified |
保修期 |
一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點擊查看售后服務(wù)承諾書。 |
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