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小巨人
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GSL-1700X-III-F3LV 1700℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

應(yīng)用范圍:GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機械泵,混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達(dá)1700℃,真空度可達(dá)到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。 

產(chǎn)品型號 :GSL-1700X-III-F3LV 

上架時間 :2019-06-28 

安裝尺寸:863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch)

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       GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機械泵,混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達(dá)1700℃,真空度可達(dá)到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。

 性能指標(biāo)和基本配置
爐體結(jié)構(gòu)

●采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使得殼體表面溫度小于55℃
●爐膛材料采用高純氧化鋁纖維,最大程度減少能量損失
●內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命
●三個溫區(qū)分別被三個獨立的溫控系統(tǒng)控制

功率

9 KW(需要75A的空氣開關(guān) )

電壓

AC 208-240V 單相, 50/60 Hz

加熱區(qū)

●總加熱區(qū)長度: 25" (630 mm)
●加熱溫區(qū)1長度: 7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱,最高溫度可達(dá)1400℃
●升溫速率: 10°C/min
●加熱溫區(qū)2長度:: 10" (250 mm)1700°C 通6根硅鉬棒加熱,最高溫度可達(dá)1700℃
●最快升溫速率: 5°C/min
●加熱溫區(qū)3長度:: 7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱,最高溫度可達(dá)1400℃
●最大升溫速率:  10°C/min

爐管和法蘭尺寸

●99.8%高純剛玉管 purity Alumina Tube
●(標(biāo)配尺寸) ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1200mm)L
●(選配尺寸) ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x  1200mm L
●一對60mm的不銹鋼密封法蘭,法蘭上已安裝閥門和儀表
●儀器中包括4個氧化鋁管堵

溫控系統(tǒng)

3個溫控系統(tǒng),都是PID30段程序化控溫

控溫精度

+/- 1℃

低真空系統(tǒng)

● 采用雙旋機械泵,其針對于本公司的管式爐,真空度可達(dá)到 10-2 Torr.
● 一個KF25的不銹鋼波紋管已安裝在真空系統(tǒng)上,其尺寸為 25mm Dia x 1000mm length ,可于管式爐上的法蘭相連接

防腐型數(shù)字真空計

可選:本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。(點擊圖片查看詳細(xì)介紹)
1

三路浮子混氣系統(tǒng)

● 3個浮子流量計安裝在一個移動架上,可以推動,可同時混入三種不同氣體。
● 第一路氣體流量范圍為10-100 cc/min
● 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min.
● 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min
● 一個壓力表安裝在移動加上,壓力表直接于移動架內(nèi)的混氣箱相連接
● 移動架上安裝有4個不銹鋼針閥

尺寸

高溫爐:   863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H  inch)

質(zhì)量認(rèn)證 1CE certified
保修期 一年保修,終身技術(shù)支持。
特別提示:
1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點擊查看售后服務(wù)承諾書。
暫無內(nèi)容
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