應(yīng)用范圍:GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機械泵,混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達(dá)1700℃,真空度可達(dá)到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。
產(chǎn)品型號 :GSL-1700X-III-F3LV
上架時間 :2019-06-28
安裝尺寸:863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch)
GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機械泵,混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達(dá)1700℃,真空度可達(dá)到5x10-2 torr ,可以混合1-3種氣體。
性能指標(biāo)和基本配置 | |
---|---|
爐體結(jié)構(gòu) |
●采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使得殼體表面溫度小于55℃ |
功率 |
9 KW(需要75A的空氣開關(guān) ) |
電壓 |
AC 208-240V 單相, 50/60 Hz |
加熱區(qū) |
●總加熱區(qū)長度: 25" (630 mm) |
爐管和法蘭尺寸 |
●99.8%高純剛玉管 purity Alumina Tube |
溫控系統(tǒng) |
3個溫控系統(tǒng),都是PID30段程序化控溫 |
控溫精度 |
+/- 1℃ |
低真空系統(tǒng) |
● 采用雙旋機械泵,其針對于本公司的管式爐,真空度可達(dá)到 10-2 Torr. |
防腐型數(shù)字真空計 |
可選:本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。(點擊圖片查看詳細(xì)介紹) |
三路浮子混氣系統(tǒng) |
● 3個浮子流量計安裝在一個移動架上,可以推動,可同時混入三種不同氣體。 |
尺寸 |
高溫爐: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch) |
質(zhì)量認(rèn)證 | CE certified |
保修期 |
一年保修,終身技術(shù)支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點擊查看售后服務(wù)承諾書。 |
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