● 輸入電源：220V AC 50/60Hz
● 最高使用功率：100W
● 靶頭數(shù)量：單個(gè)1英寸磁控濺射靶
● 設(shè)備功率：800W（包括真空泵）
● 樣品臺(tái)加熱溫度：500℃

● 采用石英腔體，尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 250 mm H
● 密封法蘭:直徑為165 mm，采用金屬制作，密封采用O形密封圈

● 設(shè)備有兩種射頻電源可選分別為：（圖一、二）
● 300W自動(dòng)匹配射頻電源
● 100W的手動(dòng)匹配射頻電源

            圖1                           圖2
注意：
● 1英寸靶頭最大使用功率為100W
● 自動(dòng)射頻電源的最大功率為300W，但是受靶頭限制，最大功率只能使用100W
● 此設(shè)備支持多種DIY方案，購買前請(qǐng)務(wù)必與我公司銷售聯(lián)系，同時(shí)歡迎您帶料到科晶實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)

● 一個(gè)1英寸磁控濺射頭（帶有水冷夾層），采用快速接頭與真空腔體相連接（圖一）
● 儀器中安裝有直徑為50mm的不銹鋼可旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，其與濺射頭之間距離可調(diào)
● 濺射頭角度可調(diào)
● 樣品臺(tái)可加熱，加熱溫度室溫-500℃
● 安裝有一可手動(dòng)操作的擋板
● 最大可制膜的直徑為:4英寸（參考值，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊）
● 可以單獨(dú)訂購RF連接線作為備用（圖四）
● 設(shè)備包含一臺(tái)水冷機(jī)，用于靶頭冷卻（圖五）

                圖1                            圖2                               圖3                              圖4                                  圖5

● 安裝有KF25真空接口
● 數(shù)字真空壓力表（Pa）
● 此系統(tǒng)運(yùn)行可通入氣體運(yùn)行
● 采用機(jī)械泵<1.0E-2 Torr（參考值，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊）
● 采用渦旋分子泵<1.0E-5 Torr（參考值，詳情請(qǐng)點(diǎn)擊）
● 可在本公司選購各種真空泵

● 設(shè)備上配1/4英寸進(jìn)氣口方便連接氣瓶
● 設(shè)備前面板上裝有一氣流調(diào)節(jié)旋鈕，方便調(diào)節(jié)氣流

● 靶材尺寸要求：Φ50mm ×（0.1-3）mm(厚度)
● 可在本公司選購各種靶材

可在本公司選購薄膜測(cè)厚儀安裝在濺射儀上

540 mm L x 540 mm W x 1100 mm H

● 此設(shè)備有多種DIY方案可供選擇，具體請(qǐng)聯(lián)系銷售部
● 為了保證濺射效果，非導(dǎo)電靶材必須安裝銅墊塊
● 可在本公司購買單晶基片從A到Z（點(diǎn)擊下圖查看詳情）

本公司濺射鍍膜機(jī)在500℃已經(jīng)成功將ZnO濺射在Al2O3襯底上（點(diǎn)擊下圖查看XRD圖譜）

● 有時(shí)為了達(dá)到理想的薄膜厚度，可能需要多次濺射鍍膜
● 為了得到較好的薄膜質(zhì)量，必須通入高純氣體（建議> 5N）
● 在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺(tái)的潔凈
● 要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合，請(qǐng)?jiān)跒R射前清潔基材表面
● 超聲波清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片）：（1）丙酮超聲（2）異丙醇超聲-去除油脂（3）吹氮?dú)飧稍铮?）真空烘箱除去水分。
● 等離子清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片）：可表面粗糙化，可激活表面化學(xué)鍵，可祛除額外的污染物。
● 制造一個(gè)薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力。

     超聲波清洗機(jī)         等離子清洗機(jī)              蒸鍍儀                    手套箱

● 注意：產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動(dòng)機(jī)體。
● 氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥（設(shè)備標(biāo)配不包括），保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下，以安全使用。
● 濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶

CE認(rèn)證