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GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀

應(yīng)用范圍：GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀，可進(jìn)行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜，樣品直徑可達(dá)50mm，鍍膜厚度可達(dá)300?，特別適用于SEM樣品的鍍膜。

產(chǎn)品型號：GSL-1100X-SPC-16

上架時間：2020-04-16

尺寸：400mm×300mm×400mm

重量：30kg

A^-A⁺

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GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀，可進(jìn)行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜，樣品直徑可達(dá)50mm，鍍膜厚度可達(dá)300?，特別適用于SEM樣品的鍍膜。

功能特點(diǎn)

設(shè)有真空表、濺射電流表，可實(shí)時監(jiān)控工作狀態(tài)。
通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得最佳鍍膜效果。
鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì)，可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。
陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。
根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
水	不需要
電	AC220V 50Hz，必須有良好接地
氣	設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）
工作臺	尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上
通風(fēng)裝置	不需要
電源	220V
總功率	<2000W（包括真空泵）
真空室	?160mm×120mm
樣品臺	?50mm，且高度可調(diào)，可同時進(jìn)行8個SEM樣品的鍍膜
最大均勻鍍膜	?45mm
尺寸	400mm×300mm×400mm
重量	30kg
可選配件	金、銦、銀、鉑等各種靶材
標(biāo)準(zhǔn)配件	1	金靶材	1個
	2	進(jìn)氣針閥	1個
	3	保險絲	2個

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